Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379779 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein Reaktor von AKT für die Halbleiterindustrie. Es handelt sich um eine reaktive Ionenätzmaschine (RIE) mit variabler Frequenzanregung, 200 mm (7,87 Zoll) Waferkapazität, einem Probenstufen-Quarz-Q-Ring sowie verschiedenen Typen von Endpunktdetektionssensoren. AKT Endura II Maschine, eine Art chemischer Ätzer für die Halbleiterindustrie, ist eine effiziente und kostengünstige Lösung, die den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Mit ETCH-Raten von 0,1 bis > 10 μ m/min eignet sich AMAT Endura II ideal zum Ätzen unterschiedlichster Materialien wie Sidewall-Isolationsstrukturen, RIE-Oxide, Nitride und Polysilizium sowie verschiedener Metalle, Oxide und Nitride. Es besteht aus einer Prozesskammer, einem Quarz-Q-Ring, oben, PCBA-Platine, unten, generischen Gasbaugruppen, einer ACBL-Ionenquelle und einer Prozesskammeranordnung. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura II kann eine breite Palette von Vakuumniveaus bereitstellen, um verschiedene Ätzprozesse und Ätzgase abzuwickeln. Eine variable Frequenz mechanische Erregung Stromversorgung ist auch im Reaktor enthalten. Der Q-Ring am Endura II-Reaktor ist dazu ausgelegt, die Probe auf dem Probenhalter in unterschiedlichen Winkeln zu drehen, um ein homogenes Ätzen der Probe zu gewährleisten und ein seitliches Ätzen zu verhindern. Darüber hinaus verwendet AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II eine Reihe von Mischgasen und Prozessgasen, um andere Parameter wie Druck, Temperatur und HF-Leistung zu erzeugen, um eine ordnungsgemäße RIE-Ätzung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist AKT Endura II computergesteuert und verwendet eine Vielzahl von Softwareprogrammen, um die Ätzprozesse zu verwalten. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätzvorgänge, um gewünschte Ergebnisse auf verschiedenen Materialien zu erzielen. Darüber hinaus verfügt AMAT Endura II über eine Reihe von Endpunkterfassungssensoren zur genauen Messung von Druck, Leistung, Last und Temperatur. Abschließend ist APPLIED MATERIALS Endura II ein effizienter und kostengünstiger reaktiver Ionenätzer mit 200 mm Waferkapazität und einer Vielzahl von Endpunktdetektionssensoren. Es ist eine zuverlässige und präzise Maschine mit einem breiten Spektrum von Ätzanwendungen für die Halbleiterindustrie.