Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9379805 zu verkaufen
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ID: 9379805
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2017
PVD System, 12"
Process: RPC
Chamber
2017 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein Hochleistungsabscheidungssystem zur Herstellung integrierter Schaltungen. Dieser Reaktor arbeitet in einer kompakten und anspruchsvollen Vakuumumgebung und ermöglicht die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien wie Polysilizium, Oxid, Aluminium, Titan und Nitrid. Der AKT Endura II Reaktor verfügt über zwei Sputterquellen, um optimale Abscheideeigenschaften zu gewährleisten und ist somit eine geeignete Plattform für die fortschrittliche Geräteproduktion. AMAT Endura II Reactor verfügt über innovative Designmerkmale, die es zu einem zuverlässigen und leistungsstarken Abscheidungswerkzeug machen. Der Reaktor verfügt über ein Vollkammergehäuse, das für extreme Temperaturstabilität nahezu hermetisch abgedichtet ist und die Hintergrundverschmutzung reduziert. Das Innere dieses Reaktors hat federbelastete Targets und eine Dual-Source-Multi-Magnet-Baugruppe, die eine ausgezeichnete Ionisation von reaktiven Gasen ermöglicht, was zu gleichmäßigem Plasma mit hoher Dichte führt. Diese Ablagerungsgleichmäßigkeit ermöglicht eine effiziente und zuverlässige Dotierung von Materialien mit hervorragenden Folieneigenschaften. Das optimierte Magnetron-Design minimiert zudem die Sputterverschmutzung, indem es verhindert, dass Partikel auf das Substrat zurückfliegen. ANWENDUNGSMATERIALIEN Endura II Reaktor hat auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Das fortschrittliche Gasregal-Überwachungssystem ist mit einem dreifachen Versorgungs- und Spülweg ausgelegt, um eine ordnungsgemäße Gasvorkonditionierung und -beimischung sicherzustellen. Dadurch wird das Risiko von Verstopfungen, Gasleckagen und anderen potenziellen Gefahren reduziert. Das fortschrittliche digitale Reglersystem bietet eine Echtzeit-Anpassung von Druck und Temperatur und gewährleistet eine optimale Steuerung für anspruchsvolle Parameter. Dies ermöglicht auch eine präzise Steuerung der Gesamtabscheidungsdicke und Gleichmäßigkeit. Die Vielseitigkeit des Endura II Reaktors ist einer seiner größten Vorteile. Das Dual-Source-Design und die hervorragende Ionisierung bieten eine hervorragende Abscheidungsgleichmäßigkeit für eine Vielzahl von Materialien. Dieses Mehrzweck-Tool ist in der Lage, schnelle, mehrfache Quellsputtersequenzen in einem einzigen Zyklus durchzuführen, während sein digitaler Controller die höchste Steuerungsstufe bei parameterbasierten Operationen bietet. Mit seinen vielfältigen Sicherheits- und Leistungsmerkmalen ist AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II Reactor eines der fortschrittlichsten Abscheidungswerkzeuge in der Halbleiterindustrie.
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