Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9402493 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II ist ein fortschrittliches Verarbeitungssystem für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist für fortgeschrittene Abscheide- und Ätzanwendungen gedacht und besteht aus vier Hauptkomponenten: dem Reaktor (halbleiterverarbeitungsfähig), dem Sensormodul (Echtzeitkammer-Prozessüberwachung und -anpassung), den Prozesssteuerungsmodulen (Datenüberwachung und -steuerung) und dem Purge System (zur Reinigung der bei der Verarbeitung. Der Reaktor besteht aus einer Vakuumkammer, in die das zu bearbeitende Substrat eingelegt wird. Es gibt Einlässe, die es dem Abscheidegas, Ätzgas und Spülgas ermöglichen, in die Kammer zu gelangen und bei der Verarbeitung verwendet zu werden. Die Kammer wird beheizt und in einem optimalen Temperaturbereich gehalten, um die gewünschten Verarbeitungsergebnisse zu gewährleisten. Der Arm, der das Substrat hält, hebt und senkt es bei Bedarf, um die Reaktion zu optimieren und zu steuern, und es wird ein Plasma erzeugt, wenn hochfrequente Energie aufgebracht wird und HF-Leistung an die Reaktionskammer abgegeben wird. Das Sensormodul überwacht während des Reaktionsprozesses Plasma, Kammertemperatur und andere Größen, um notwendige Prozessanpassungen vorzunehmen. Diese Informationen werden auch an die Prozesssteuerungsmodule gesendet, die die Daten analysieren und darüber entscheiden, ob zusätzliche HF-Leistung erforderlich ist oder ob ein anderes Gasgemisch verwendet werden soll. Die Prozesssteuerungsmodule haben auch Subsysteme, die alle Facetten des Reaktionsprozesses steuern können. Dazu gehören die Regelung der Substrattemperatur, die Einstellung der Ätz- und Abscheideraten, die Änderung der Ätz- und Abscheidungsrezepte und die genaue Steuerung des gesamten Prozesses. Die Prozesssteuermodule ermöglichen es dem Bediener auch, den Druck innerhalb der Kammer einzustellen, indem sichergestellt wird, dass die Ventile und andere Drucksteuerungen geöffnet und geschlossen werden, um den optimalen Druck innerhalb der Kammer aufrechtzuerhalten. Das Reinigungssystem trägt dazu bei, die optimale Reinheit der im Abscheide- und Ätzprozess verwendeten Gase aufrechtzuerhalten. Die mehrstufigen Filtersysteme sorgen dafür, dass die dabei eingesetzten Gase auf höchstem Qualitätsniveau bleiben. Dies schützt das zu bearbeitende Substrat und sorgt dafür, dass die Ergebnisse konsistent und wiederholbar sind. AKT Endura II ist eine leistungsstarke, zuverlässige und vielseitige Maschine für die Halbleiterherstellung. Die verschiedenen Komponenten arbeiten zusammen, um nicht nur optimale Ergebnisse zu erzielen, sondern auch eine große Kontrolle über den gesamten Reaktionsprozess zu ermöglichen. Dies ermöglicht wiederholbare, hochwertige Ergebnisse in fortgeschrittenen Abscheide- und Ätzanwendungen.