Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura TxZ #9203028 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ ist ein fortschrittlicher, direkter thermischer Verarbeitungsreaktor, der in hochvolumigen Halbleiterbauelementen und in der Herstellung von Photovoltaikzellen verwendet wird. Dieses Werkzeug ist in der Lage, 300mm (12 Zoll) Wafer zu bearbeiten, was einen höheren Durchsatz und eine bessere Produktivität ermöglicht. Die AMAT Endura TxZ Prozesskammer ist in mehrere Zonen unterteilt, die jeweils speziell für unterschiedliche Funktionen ausgelegt sind. Die Kassettenstation kann sowohl Elektronenstrahlverdampfungsquellen als auch physikalische Aufdampfquellen (PVD) aufnehmen. Die Prozesskammer ist auch mit fortschrittlichen Kühl- und Temperaturregelmechanismen ausgestattet. Darüber hinaus verwendet APPLIKATIONSMATERIALIEN Endura TxZ eine hochfrequente Hochleistungsstromquelle zur schnellen Erwärmung der Prozesskammer. Endura TxZ kann mehrere Arten von Materialien verarbeiten, einschließlich Verbindungen wie Galliumarsenid, Siliziumdioxid (SiO2) und Indiumzinnoxid (ITO). Es kann auch elementare Materialien wie Aluminium und Magnesium verdampfen. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura TxZ ist ideal für die präzise Abscheidung von antireflektierenden und antireflektierenden Beschichtungsmaterialien, sowie einer Reihe von anderen Materialien. Es hat auch eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, einschließlich Sputtern, chemische Dampfabscheidung (CVD), Elektronenstrahlverdampfung und Atomschichtabscheidung (ALD). Neben dem Betriebstemperaturbereich von 200-1200 ° C verfügt das Tool über fortschrittliche Überwachungs-, Diagnose- und Reinigungssysteme. Die eingebaute Sensor- und Steuereinrichtung gewährleistet eine präzise Wafer-Positionierung und sorgt für eine gleichmäßige Abscheidung über die gesamte Waferoberfläche. Es ermöglicht auch eine optimale Anpassung der Prozessparameter für verbesserte Ergebnisse. AMAT Endura TxZ umfasst ein Echtzeit-Überwachungs- und Diagnosesystem, das konsistente Daten für die Rezepturentwicklung und -optimierung liefert. Die Diagnoseeinheit überwacht und meldet auch mögliche Probleme mit der Maschine und gibt Ingenieuren sofortiges Feedback, damit sie schnell auf Probleme reagieren können. ANGEWANDTE MATERIALIEN Endura TxZ ist kompatibel mit anderen fortschrittlichen Werkzeugen, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Es wurde entwickelt, um sich gut mit Robotern, Staubfiltern und anderen Nachbearbeitungsgeräten zu integrieren. Auf diese Weise können Ingenieure dem Prozess zusätzliche Automatisierungsschichten hinzufügen, was schnellere Durchlaufzeiten, verbesserte Genauigkeit und höhere Erträge gewährleistet. Es hat auch die Flexibilität, sich an sich ändernde Prozessanforderungen anzupassen und eignet sich somit für ein breites Anwendungsspektrum. Von der Chipherstellung bis zur Photovoltaik ist Endura TxZ eine vielseitige und zuverlässige Verarbeitungslösung.