Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD #9384072 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura VHP PVD Reaktor ist ein modernes Werkzeug für physikalische Bedampfung (PVD) Anwendungen. Der Reaktor ist für die Abscheidung von Filmschichten auf Substraten mit überlegener Prozessgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit ausgelegt. Dieses Gerät ist ein branchenführendes Prozesswerkzeug, das eine zuverlässige PVD-Folienabscheidung bietet und eine breite Palette von Abscheidetechnologien unterstützt. AMAT Endura VHP PVD Reaktor bietet ein optimales Design in Bezug auf Prozessflexibilität, hohen Durchsatz und extrem geringe Partikelleistung. Es nutzt hochfrequente (RF) und hochdichte Gleichstromquellen (DC), um Filmschichten mit außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit und Gitterrate über eine breite Palette von Substratmaterialien und -größen zu erreichen. Das System umfasst ein Design der nächsten Generation für die Kammer, Quelle, Substrathalter und Waferstufe für verbesserte Wärme- und Partikelleistung. Darüber hinaus ist der Reaktor mit motorisierten Schutzmerkmalen für eine verbesserte Prozesssicherheit ausgestattet. APPLIKATIONSMATERIALIEN Endura VHP PVD Reaktor ist auch in der Lage, Abscheidungsvorstufen zu liefern, die auf den Substratprodukthalter geladen und schnell bis zur Reaktionskammer gefahren werden können. Die verbesserte Bewegungssteuerung und optimierte Spiegelpositionserfassung sorgen für überlegene Prozessergebnisse. Darüber hinaus wurde das Gerät entwickelt, um kommerzielle, F&E und Pilotlinien-Produktionsanwendungen zu unterstützen. Endura VHP PVD Reaktor hat die Fähigkeit, die Abscheidungsraten, Temperaturprofile und Filmdicke über das Substrat mit Hilfe einer integrierten Diagnosemaschine genau zu messen. Das Tool unterstützt auch eine breite Palette von analytischen Werkzeugen, die bei der Echtzeit-Überwachung des Abscheidungsprozesses sowie seiner Entwicklung im Laufe der Zeit unterstützen können. Die Anlage ist äußerst benutzerfreundlich und bietet eine breite Palette von Rezepten und Rezeptanpassungsfunktionen, so dass Benutzer den Prozess an ihre individuellen Bedürfnisse anpassen können. Darüber hinaus verfügt der Reaktor über eine erweiterte Fehlererkennung und -auflösung, die es ermöglicht, Prozessinkonsistenzen aufgrund unerwarteter Ereignisse zu erkennen und sicherzustellen, dass identifizierte Inkonsistenzen schnell behoben werden, ohne den Prozess zu unterbrechen. Insgesamt ist der Endura VHP PVD-Reaktor ein äußerst zuverlässiges, effizientes und anpassbares physikalisches Bedampfungsprozesswerkzeug, das eine überlegene Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit, eine optimierte Bewegungssteuerung und Spiegelpositionsmessung sowie ein integriertes Diagnosemodell für die Echtzeit-Überwachung bietet.