Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #177711 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 177711
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
Sputtering system, 6"
1. STD-AL-Si-Cu (Clamp)
2. Wide-Ti (A101)
3. Wide-Ti (A101)
4. STD-AL-Si-Cu (Clamp)
5. -
A: PASS
B: COOL
C: PC2
D: PC2
E: ORIENTER-DEGAS
F: ORIENTER-DEGAS
BUFFER: HP
XFER: HP
LL: NARROW
MAGNET: DURA & G12
Pumps: EBARA A30W, A10S, A10S
Missing:
FDD
OPT PCB
(4) DIO PCB
Currently installed and shut down
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist ein hochentwickeltes chemisches Reaktor- und Stoffübertragungssystem für die Herstellung von führenden Halbleiterbauelementen. Der Reaktor verfügt über einzigartige Merkmale, die eine hohe Produktivität, einen hohen Durchsatz und einen kostengünstigen Betrieb bei der Entwicklung, Herstellung und Prüfung verschiedener Halbleiterbauelemente ermöglichen. Der AMAT ENDURA Reaktor besteht aus einem Gehäuse und drei Hauptkomponenten: einer Reaktionskammer, einem Kammergehäuse und einer Vorbehandlungskammer. Die Reaktionskammer bietet eine kontrollierte Umgebung für chemische Prozesse, die eine Hochgeschwindigkeitsproduktion mit minimalen Stillstandszeiten ermöglichen. Es ist so konzipiert, dass eine kontrollierte, gleichmäßige Temperatur und Druck, sowie die Steuerung der Strömung von Gas und Flüssigkeit. Das Gehäuse beherbergt die Reaktionskammer und Vorbehandlungskammer und wird mit einer Kombination aus Stickstoff und Sauerstoff unter Druck gesetzt, um die optimale Umgebung für den entworfenen Prozess zu gewährleisten. Der ANWENDUNGSMATERIALIEN-ENDURA-Reaktor umfasst neben seiner Reaktionskammer auch eine Vorbehandlungskammer, die die Reinigung und/oder Behandlung von Substraten vor ihrem Eintritt in die Reaktionskammer ermöglicht. Die Kammer besteht aus einer Reihe von Kammerkomponenten, die einen Wasserring zur Wasserreinigung und -kühlung umfassen; einen Wäscher zur chemischen Reinigung; einen Dampfkastenheizer zur Dampfreinigung; einen Hochtemperaturofen zur thermischen Reinigung; und einen Ozongenerator zur Ozonreinigung. Darüber hinaus verfügt ENDURA Reactor über einen enviromax Controller, der ein kostengünstiges, leistungsstarkes und zuverlässiges Automatisierungs- und Prozessleitsystem bietet. Dieser mikroprozessorbasierte Regler bietet eine präzise Kontrolle über den Betrieb des Reaktors und ermöglicht einen breiten Einsatzbereich, einen effizienten zweistufigen Prozessbetrieb, einen hohen Durchsatz und eine schnelle Rezepturentwicklung. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist in der Halbleiterindustrie aufgrund seiner beispiellosen Leistung und zuverlässigen Betrieb weit verbreitet. Die fortschrittlichen Eigenschaften des Reaktors bieten eine schnelle und zuverlässige Verarbeitung von Substraten, während das einfach zu bedienende Automatisierungssystem einen effizienten Betrieb und eine schnelle Rezepturentwicklung gewährleistet. Darüber hinaus ist der Reaktor für kostengünstige Nutzung und Wartung konzipiert, was ihn zu einer attraktiven Wahl für Anwendungen in kostensensitiven Märkten macht.
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