Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #200767 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist eine Halbleiterverarbeitungsanlage für die Ionenimplantation und Dünnschichtabscheidung. Es wird zur Verarbeitung fortgeschrittener Mikroschaltungskomponenten wie dünne Gateoxide, Gateelektroden und eingebettete Wiedereintrittsschichten in Transistoren verwendet. Das AMAT ENDURA-System besteht aus zwei Hauptkomponenten: dem Implantations- und Abscheidecluster (IDC) und der Prozesssteuerung/-überwachung (PCM). Das Implantations- und Abscheidungs-Cluster (IDC) ist das Herzstück der Einheit, die für die Steuerung der Reihenfolge und des Timings von Prozessfunktionen verantwortlich ist. Es umfasst Netzteile, die die notwendige Energie liefern, um plasmabasierte Prozesse zu steuern, und zwei Bänke von Hochspannungsmagnetronquellen. Diese Quellen erzeugen ein Hochtemperaturplasma, mit dem dann energetische Ionen erzeugt werden, die zur Implantation oder zum Aufsputtern eines dünnen Films auf das Substrat verwendet werden können. Die Hochspannungsversorgung ermöglicht auch die Steuerung der Tiefe der Implantationen und Dünnschichtabscheidungsprozesse. Die Process Control/Monitoring (PCM) Unit ist das Gehirn der Maschine. Es ist ein Computerwerkzeug, das den gesamten Prozess von der Inbetriebnahme, Überwachung und genauen Steuerung der Parameter der Operation überwacht. Es erhält Eingang von einer Vielzahl von Sensoren, einschließlich Vakuumpumpen und Ionenmessgeräte, die Drücke, Temperaturen und Verschmutzungen für jede Kammer überwachen. Das PCM überwacht auch die Hochspannungsmagnetronquellen und sorgt für einen korrekten Betrieb durch Überwachung der abgegebenen Energie und entsprechende Grenzwerte. APPLIED MATERIALS ENDURA Asset ist zuverlässig, einfach zu bedienen und erschwinglich, so dass es eine attraktive Wahl für viele Halbleiterunternehmen. Es verfügt über ein robustes Design, das eine Vielzahl von austauschbaren Kammern umfasst, um jeden spezifischen Prozessanforderungen gerecht zu werden, und eine hochflexible Softwareplattform. Dies liefert ein schnelleres und effizienteres Verarbeitungsprotokoll als herkömmliche Systeme, mit weniger Fehlern und zuverlässigeren Ergebnissen. Das Modell kann sowohl kleine als auch große Substrate verarbeiten und bietet eine vollständige Rückverfolgbarkeit und Prozesskontrolle, was es zu einer zuverlässigen Wahl für moderne Verarbeitungsanwendungen macht.