Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #293618286 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT ENDURA) ist eine physikalische Bedampfungsanlage (PVD), die speziell für die Abscheidung von Metallfilmen auf Substraten entwickelt wurde. Dieses PVD-System eignet sich für eine Vielzahl von Materialien, darunter Siliziumscheiben, Glas, Metalle und Polymere. ENDURA-Reaktor ist in der Lage, Filme im Bereich von 1 bis 200 Nanometer Dicke abzuscheiden. Es kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Metallen abzulegen, einschließlich Aluminium, Gold, Molybdän, Wolfram, Nickel und Titan, sowie verschiedene Legierungen. Das Gerät verwendet eine Ultrahochvakuumkammer, um eine nahezu perfekt reine Materiequelle zu schaffen, in der sich die Metalle erheben und dann auf dem Substrat abscheiden. Die Ultrahochvakuumkammer wird auf einem Basisdruck von 5x10-7 Torr gehalten. In die Kammer, die durch einen Heißzonenheizer geleitet wird, wird Gas eingeleitet, wodurch sich die Gasmoleküle in Atome trennen. Diese Atome werden mit einer Plasmaquelle ionisiert und dann durch ein elektromagnetisches Feld über das Substrat gelenkt. Beim Auftreffen der Ionen auf das Substrat aggregieren sie und bilden Schichten des gewünschten Metallfilms auf die Oberfläche. Die Maschine ist auch mit einer Turbomolekularpumpe ausgestattet, die das Hochvakuum in der Kammer aufrechterhält und eine optimale Umgebung für den Abscheideprozess bietet. Ein Wirbelmagnet kann verwendet werden, um Partikel auszufiltern, die die Reinheit und Qualität des abzuscheidenden Materials beeinträchtigen können. Der Reaktor ist außerdem mit Laserinterferometern und einer Vielzahl von Prozessdiagnosesystemen sowie einer kompletten Software ausgestattet, die eine präzise Kontrolle der Abscheidungsparameter ermöglicht. ENDURA-Reaktor ist ein leistungsstarkes und präzises PVD-Werkzeug, das sich hervorragend für die Abscheidung von Metallfolien, einschließlich Hochleistungslegierungen, auf verschiedensten Substraten eignet. Seine Fähigkeit, Filme mit präziser Kontrolle der Dicke und Zusammensetzung abzuscheiden, macht es zu einem unschätzbaren Werkzeug für die Herstellung in zahlreichen Industrien, von Mikroelektronik und Halbleitern über Solarzellen, Displays und mikroelektromechanische Systeme (MEMS).
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