Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9078880 zu verkaufen

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein Halbleiter-Plasmaätzreaktor und Abscheidungssystem. Dieser Reaktor wird weltweit eingesetzt und ist für seine Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit bekannt. Es ist ein benutzerfreundliches, kostengünstiges Werkzeug zum Ätzen und Ablegen von dünnen Folien. AMAT ENDURA besteht aus zwei verschiedenen Teilsystemen, der Plasmaquelle und der Prozesskammer. Die Plasmaquelle ist ein Magnetronsputtersystem und die Prozesskammer ist ein reaktiver Ionenätzer mit mehreren Kathoden. Diese Kombination bietet eine vielseitige Waferbearbeitungsplattform, die ein hochpräzises Trockenätzen und Abscheiden mehrerer Materialien sowie erweiterte Materialmodifikationen und Substratreparatur/-schweißen ermöglicht. Die Prozesskammer ist zum Ätzen und Abscheiden einer Vielzahl von Materialien ausgelegt, von Metallen bis zu Polymeren. Ein einzigartiges Merkmal von APPLIED MATERIALS ENDURA ist die Bereitstellung von mehreren Ätzkammern zum Ätzen verschiedener Schichten des Wafers. Dies ermöglicht eine größere Kontrolle über Ätztiefe und Gleichmäßigkeit, wodurch komplizierte dreidimensionale Strukturen hergestellt werden können. ENDURA verwendet mehrere Gasquellen für die Ätz- und Abscheidungsschritte. Zum Ätzen kann der Reaktor mit gasförmigen, flüssigen oder festen Oberflächen entweder mit Sauerstoff/Stickstoff, Chlor/Fluor oder mit Seltengaschemie eingesetzt werden. Diese Vielfalt an Chemikalien trägt zur Optimierung der Ätzselektivität bei und gewährleistet so eine höhere Stabilität und Reproduzierbarkeit von Gerätestrukturen. Ebenso beeindruckend sind die Abscheidefähigkeiten von AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA, die eine Reihe von Niedertemperaturverfahren wie Atomschichtabscheidung, chemische Dampfabscheidung, ultraviolettreaktive Abscheidung und ionengestützte Prozesse umfassen. Dies ermöglicht das Abscheiden ultradünner Folien sowie komplexer Mehrschichtstapel mit hoher Präzision. Angewandte Materialien/AMAT ENDURA hat sich somit zu einem wichtigen Werkzeug in der Halbleiterherstellungsindustrie entwickelt, da seine Multi-Subsystem-Struktur ein hervorragendes Beispiel für die Integration von Ätz-, Abscheide- und anderen Waferbearbeitungsschritten auf derselben Plattform ist. Mit seiner Kombination aus Ätz- und Abscheidefähigkeiten ist APPLIED MATERIALS ENDURA in der Lage, die kritische Präzision und Steuerung bereitzustellen, die für die Herstellung immer komplexerer Halbleiterbauelemente erforderlich ist.