Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9093781 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9093781
Wafergröße: 8"
Wide body load lock sets (left and right), 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist eine Cluster-Tool-Plattform, die speziell für eine kostengünstige und hochzuverlässige Halbleiterproduktionslösung entwickelt wurde. Insbesondere wird die AMAT ENDURA-Plattform verwendet, um fortschrittliche Speicher-, Logik- und 3D-FinFET-Technologien mit höchster Qualität und Leistung zu produzieren. APPLIED MATERIALS ENDURA System ermöglicht es Kunden, eine fortschrittliche Halbleiterprozessfähigkeit zu erreichen, die die fortschrittlichste Halbleitertechnologie mit der höchsten Zuverlässigkeit und Leistung der Einheit kombiniert. ENDURA besteht aus einer umfassenden Palette von Gerätemodulen, die verschiedene Segmente des Prozessablaufs bedienen sollen. Dazu gehören Abscheidung, Ätzen und Reinigen, Dotierstoffabscheidung und Aktivierung sowie über Ätzen. Darüber hinaus verfügt es über intelligente thermische Steuerungssysteme und einen Front-End-Cluster mit hohem Durchsatz, der die Effizienz maximiert und Ausfallzeiten minimiert. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Maschine verwendet die höchste Qualität Solid CVD Werkzeuge und Standard Rapid Thermal Process Werkzeuge für die Abscheidung. Dies gewährleistet höchste Qualität für jede Prozessschicht. Es bietet auch den höchsten Grad an Gleichmäßigkeit, Steifigkeit und Haftung zwischen Prozessschichten, um Produktionssubstrate mit sehr dünnen Transistorarchitekturen herzustellen. AMAT ENDURA Werkzeug ist auch mit High-End-Ätz- und sauberen Modulen ausgestattet, einschließlich Hochleistungs-Plasmaetch und einer LPCVD-Kammer zur Nachabscheidungsreinigung. Speziell der Ätz- und Reinigungsprozess ermöglicht es Kunden, Siliziumätzen mit hoher Selektivität und Tiefenkontrolle über epitaktische Schichten und andere Dünnschichtmaterialien zu erreichen, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA ist auch mit einem High-End-Dotierstoff Abscheidung und Aktivierung Asset für die Verunreinigung in der Gerätestruktur ausgestattet. Dieses Modell verwendet eine proprietäre Dotierstoffchemie und thermische Aktivierung, um nahezu perfekte Dotierungshomogenität für perfekte elektrische Eigenschaften und verbesserte Geräteleistung zu erreichen. Schließlich verfügt ENDURA über eine innovative Trockenätzanlage für die Präzisionskontakt-Lithographie. Dies liefert hochauflösende Muster mit sublithographischer Tonhöhe und kritischem Seitenverhältnis, was für die fortschrittliche Geräteproduktion unerlässlich ist.
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