Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9096488 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9096488
Wafergröße: 8"
Preclean II Chamber, 8"
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Turbo
Turbo controller
Cables.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist eine hochentwickelte Abscheidung Ausrüstung für ultra-hohe Produktivität Verarbeitung entwickelt. Es wurde unter Berücksichtigung der höchsten Produktionseffizienz konzipiert und bietet extreme Plattformleistung in einer Vielzahl von Prozessen. Der Kern des AMAT ENDURA Reaktors ist APPLIED MATERIALS ENDURA Enhanced Stage (EES) mit einem automatisierten Halbleiterproduktionssystem (ASPS). Diese Einheit bietet eine erhöhte Kontrolle und Gewährleistung der Materialgleichförmigkeit sowie eine verbesserte Prozessgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Das EES nutzt ein proprietäres Wellendesign, das eine Werkzeugintegration mit zugehörigen Suszeptoren und Roboterarmen ermöglicht. Darüber hinaus bietet das EES einheitliche, genaue und wiederholbare Kammerbewegungskarten, effizienteres Be- und Entladen von Substraten und reduzierte Wartungszeiten. Der Hochdurchsatz-Abscheidungsprozess des ENDURA-Reaktors nutzt eine Flüssigkeitsquellenliefermaschine und ist in der Lage, entweder ein reaktives Ionenetch (RIE) -Werkzeug oder ein Ionenimplantations-Asset nahtlos in seine Architektur zu integrieren. Dies ermöglicht einen konsistenten und wiederholbaren Durchsatz von Prozessschritten sowie eine vollständige Integration der automatisierten Prozesssteuerung. Der AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor verfügt zudem über ein echtes Regel- und Überwachungsmodell, das für eine optimale Prozessentwicklung und -ausführung integriert ist. Der AMAT ENDURA Reaktor bietet mehrere Prozesskammerkonfigurationen mit unterschiedlichen Zielmaterialien. Dies ermöglicht eine umfassende kundenspezifische Verarbeitung und Flexibilität für den Benutzer. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA Reaktor hat auch zwei verschiedene Betriebsarten, um optimierten Durchsatz und Gleichmäßigkeit zu gewährleisten, je nach Prozessschritt oder spezifischer Anwendung. In Sachen Sicherheit verfügt der ENDURA-Reaktor über eine neu entwickelte Sicherheitsverriegelung mit Hard- und Softwareschutz. Dies ermöglicht die Überwachung eines beliebigen Prozessschritts im System und wurde entwickelt, um den Anwendern höchste Sicherheitsmaßnahmen zu bieten. Der Reaktor AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA verfügt zudem über eine vollautomatisierte Materialdatenbank, die es Anwendern ermöglicht, stets die aktuellsten Informationen über Materialprozesse, aktuelle Prozesszeiten sowie die Substrattemperaturregelung zu erhalten. Der AMAT ENDURA Reaktor ist zudem mit einer Chargenverfolgungseinheit und einer internen Audit-Protokollierungsmaschine ausgestattet. Auf diese Weise können Benutzer Änderungen am Prozess protokollieren, die Produktion von Losen und Substraten verfolgen und einen Überwachungspfad aller Änderungen oder Aktionen aufbewahren, die während der Verarbeitung vorgenommen wurden. Dadurch ist sichergestellt, dass stets die aktuellsten Informationen zur Verfügung stehen. Abschließend ist der APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ein fortschrittliches Abscheidewerkzeug, das in der Lage ist, eine extrem hohe Produktionseffizienz und Flexibilität in einer Vielzahl von Prozessen zu erhalten. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen und Technologien ausgestattet, um optimale Leistung und Sicherheit zu gewährleisten, und bietet eine einzigartige Plattform für Produktionssteuerung und Hochdurchsatzfunktionen.
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