Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9105850 zu verkaufen
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ID: 9105850
Load Port Interface, 8"
From 8" Endura CVD System
(1) Prealigner: Kensington P/N: 25-3600-0300-03
(2) Servo Controllers
Robots:
Kensington P/N: 35-3700-1425-18
Kensington P/N: 15-3702-1425-25
PCB's:
AMAT P/N: DNP-CPCI-1
MKS P/N: CDN491
SBS P/N: 0190-05410
SBS P/N: Single board computer
SBS P/N: CPMC.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist ein industrieller Werkstoffreaktor, der in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Dieses Werkzeug zur physikalischen Bedampfung (PVD) wurde entwickelt, um einen dünnen Materialfilm auf Wafern, Chips und anderen Substraten für verschiedene Anwendungen wie Schaltkreise, Photonik, Wearables und biomedizinische medizinische Implantate abzuscheiden. AMAT ENDURA Reaktor verwendet ein patentiertes Drei-Kammer-Design, das mehrere Abscheidungen und Belichtungen in jeder Sequenz ermöglicht. Es unterstützt Abscheidungsmaterialien wie Kupfer, Wolfram, Aluminium und Silizide, sowie Deckelmaterialien wie Titan oder Aluminium. Dank seiner präzisen Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit liefert dieses Tool konsistente Ergebnisse und Maskenkonformität. Mit seinen extrem niedrigen Partikelemissionen ist kein Partikelzähler erforderlich und es besteht weniger Bedarf an Wafer-Rückgewinnung und Reinigung, was zu einem erhöhten Durchsatz gegenüber anderen PVD-Werkzeugen führt. ANWENDUNGSMATERIALIEN ENDURA Reaktor verfügt auch über einen flexiblen Regler, der eine Abstimmung der Kammerumgebung auf optimale Abscheidebedingungen ermöglicht, und ein Druckfenster für eine schnelle Druckregelung. Dies trägt dazu bei, dass ein hochwertiger Dünnfilm abgeschieden wird. Zusätzlich zu seinen Abscheidungsfähigkeiten ist ENDURA in der Lage, Nassätzen und Oberflächenreinigung mit einer Vielzahl von Chemikalien wie Wasserstoffperoxid und TMAH. Diese Ätzfunktion trägt dazu bei, die Leistung einiger Geräte wie MEMs und anderer Geräte zu verbessern, die für schlechte Nassätzergebnisse empfindlich sind. Aufgrund seiner Vielseitigkeit, seines robusten Designs und seiner Verstandesfähigkeit ist der Reaktor AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA in der Halbleiter- und optoelektronischen Fertigung weit verbreitet. Es ermöglicht eine schnelle und genaue Dünnschichtabscheidung, erreicht eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit der Prozessparameter und bietet eine gute Prozesskontrolle.
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