Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9115932 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein chemischer CVD-Reaktor, der speziell für Halbleiteranwendungen entwickelt wurde, um dünne, konforme Beschichtungen abzuscheiden. Das Gerät kann auch für andere Anwendungen wie Hohlkathoden-Magnetron-Sputtern (HCMS) und physikalische Aufdampfung (PVD) verwendet werden. AMAT ENDURA ist ein CVD-Reaktor in voller Größe, der ein plasmaverbessertes CVD (PE-CVD) -Verfahren verwendet. PE-CVD ermöglicht die Ablagerung von deutlich dünneren, konformeren Beschichtungen als herkömmliche Batch-CVD-Verfahren. Das System verfügt über eine horizontale Reaktorkammer, die einen maximalen Durchsatz mit begrenzter Oberfläche ermöglicht. Darüber hinaus ermöglichen die Kammerspül- und Entlüftungseinheit und das große Prozessfenster den Einsatz mit einer Vielzahl von Vorläufergasen. Die Endpunkterkennungsmaschine von APPLIED MATERIALS ENDURA wurde entwickelt, um eine sehr zuverlässige Genauigkeit bei der Messung der Schichtdicke zu erzielen. Ein automatisierter Prozessregler, der speziell für den ENDURA-Reaktor entwickelt wurde, bietet eine präzise Prozesssteuerung, die es Anwendern ermöglicht, eine homogene Beschichtung jedes Substrats sicherzustellen. Der ENDURA-Reaktor AMAT/APPLIED MATERIALS kann mit einer Vielzahl von Komponenten, wie Gasfördersystemen, wassergekühlten Oberflächen und automatisierten Ladesystemen, weiter konfiguriert werden, um das Werkzeug für spezifische Prozessanwendungen anzupassen. Zu den weiteren gemeinsamen Komponenten gehören beispielsweise ein Carrier Wafer Transfer und Handling Asset, ein Vakuummodell und ein automatisiertes Wafer Mapping Equipment. AMAT bietet umfassenden Service, präventive Wartungsprogramme, Ersatzteile und Prozessschulungen, um einen ordnungsgemäßen Systembetrieb und Optimierung zu gewährleisten. Zusätzlich zu diesen Diensten können ihre erweiterten Software- und Hardware-Upgrades dazu beitragen, die Lebensdauer des Geräts erheblich zu verlängern. AMAT ENDURA Reaktor ist ideal für die Serienfertigung in der Halbleiterindustrie sowie für Forschungs- und Entwicklungsanwendungen. Es ist einfach zu bedienen und bietet präzise, zuverlässige und genaue Leistung für die kontrollierte Abscheidung von Dünnschichtbeschichtungen.