Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116853 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist ein fortschrittliches Hochdurchsatz-Metallabscheidungsgerät, das entwickelt wurde, um die Metallabscheidungsraten zu verbessern und die Reproduzierbarkeit auf technologisch anspruchsvollen Ätzungen, Substratplatzierung und Abscheidungsprozessen zu verbessern. Das System ermöglicht einzelne oder mehrere Abscheidungsquellen, kontinuierliche oder periodische Waferdrehung und liefert eine hohe Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. AMAT ENDURA Reactor besteht aus mehreren Komponenten, die als einheitliche Einheit zusammenarbeiten, um den Abscheidungsprozess effektiv durchzuführen. Diese Komponenten umfassen eine Prozesskammer, einen Endeffektor, einen erhöhten Plattenlader, einen Kühlventilator, einen Beschleunigungsmesser, mehrere Abscheidungsquellen und eine spezielle Steuereinheit. Die Prozesskammer ist das Hauptmodul der Maschine, bestehend aus einem Paar konzentrischer Zylinderwände, die Druck, Strömung und Temperatur steuern. Der Endeffektor ENDURA ermöglicht das Platzieren und Drehen von Wafern innerhalb der Kammer und ist über dem hebelbetätigten, partikelarmen, erhöhten Plattenlader positioniert, der ein schnelles und einfaches Be- und Entladen von Substraten ermöglicht. Ein Hochleistungs-Kühlgebläsewerkzeug, gekoppelt mit mehreren Temperatursensoren, hält eine homogene Temperaturverteilung über die gesamte Prozesskammer. Ein fortschrittlicher Beschleunigungsmesser dient zur Registrierung und Überwachung von Waferbewegungen, um ein konsistentes Ergebnis zu erhalten. Darüber hinaus ist ENDURA Reactor für mehrere Abscheidungsquellen konfigurierbar, für eine breite Palette von Legierungstypen und deren Abscheidung, einschließlich Ruthenium, Legierungen, Gold, Aluminium und andere. Der AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor bietet auch eine Fülle von Funktionen, die die Programmierung erleichtern, die unerwünschte Variabilität reduzieren und den Prozessdurchsatz und die Gleichmäßigkeit erhöhen. Durch die Verriegelung wird verhindert, dass während des laufenden Wafers ein Schnittstellenschritt stattfindet, während das Sicherheitsmodell ein unbeabsichtigtes Öffnen der Prozesskammertüren bei Verriegelung verhindert. Die Steuerung ermöglicht es Benutzern, den gesamten Abscheideprozess präzise und präzise zu steuern und zu planen. Eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht es Benutzern, Substratplatzierungen und -einstellungen in Echtzeit anzuzeigen, zu analysieren und zu ändern. Die Software ermöglicht auch die automatisierte Generierung von Rezeptskripten für mehrere und komplexe Ablagerungen, für eine schnellere und genauere Ausführung von Aufträgen. Zusammenfassend ist AMAT ENDURA Reactor ein fortschrittliches Hochdurchsatz-Metallabscheidungssystem, das entwickelt wurde, um die Effizienz des Abscheidungsprozesses zu automatisieren und zu verbessern. Seine anspruchsvollen Komponenten und Software machen es zu einer zuverlässigen, vielseitigen und fähigen Einheit, die verbesserte Metallabscheidungsraten und -genauigkeit liefert. Dies macht die Maschine ideal für eine Vielzahl von Anwendungen der Metallabscheidung, wie Radierungen, Substratplatzierung und andere Abscheidungsprozesse.