Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9116854 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein anspruchsvoller Plasmaätzreaktor, der in Halbleiterherstellungsprozessen eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um ein Höchstmaß an Gleichmäßigkeit, Produktivität und Kontrolle zu gewährleisten und gleichzeitig höchste Präzision und Genauigkeit zu gewährleisten. AMAT ENDURA Reaktor wird im Ätzprozess eingesetzt, bei dem Materialien wie Oxide und Hartmasken entfernt werden, um Kontaktöffnungen, Gräben und Vias zu erzeugen. Das Herzstück von APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist die Multi-Micron Delta Ausrüstung, die drei Haupttechnologien verwendet, um Präzisionsätzen zu erreichen. Erstens die Multi-Micron Gas Collisions, die ständig Gase in der Reaktionskammer kollidiert, so dass sie besser mit den Proben reagieren können, was zu einer verbesserten Gleichmäßigkeit führt. Zweitens die Multi-Micron Magnetron-Enhanced Plasma Source, die niedrige Leistung basierte HF-Energie verwendet, um die Gleichmäßigkeit zu verbessern. Schließlich wird die Multi-Micron Inductively Coupled Plasma (ICP) -Quelle für induktiv gekoppelte plasmareaktive Ionenätzprozesse (ICP-RIE) verwendet, was eine verbesserte Materialselektivität bietet. ENDURA umfasst auch ein proprietäres Rezeptoptimierungssystem, das die Rezept-Ausführung und Optimierung für maximale Produktivität automatisiert. Die Stromversorgungssteuerung ermöglicht dem Anwender eine präzise Spannungs-/Strom-/Leistungsregelung und ermöglicht es, während des Ätzvorgangs Anpassungen vorzunehmen, um optimale Ergebnisse zu erzielen. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor verfügt auch über mehrere Prozesskammern, so dass mehrere Ätzchemie einschließlich Fluor und Chlor auf einer atomaren Schicht Ebene. Eines der Hauptmerkmale von AMAT ENDURA ist der Multi-Mode-Betrieb, der den Benutzern zwei Betriebsmodi bietet: Prozess und Monitor. Im Prozessmodus können Anwender ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA programmieren, um Proben zu ätzen, während im Überwachungsmodus die Einheit Proben im Prozess beobachtet und Parameter wie Druck, Temperatur, Gasströme und Kammerdichte aufzeichnet. ENDURA verfügt auch über automatische Diagnosefunktionen, die Prozessinstabilitäten erkennen und Benutzer warnen, so dass sie Korrekturmaßnahmen ergreifen können. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein fortschrittlicher Ätzreaktor, der beispiellose Präzision und Genauigkeit in Halbleiterherstellungsprozessen bietet. Die Kombination aus innovativen Technologien und automatisierten Optimierungssystemen, Multi-Micron-Delta-Maschine und dem Rezept-Optimierungs-Tool ermöglicht es Anwendern, kleinere und komplexere Strukturen vertrauensvoll zu ätzen, wodurch höhere Erträge und höhere Gewinne unter dem Strich erzielt werden.