Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9126392 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist eine hochmotorisierte chemische Reaktortechnologie, die speziell für hochvolumige und hochdurchsatzreiche Halbleiterätz- und Abscheidungsprozesse entwickelt wurde. Diese vielseitige Ausrüstung bietet außergewöhnliche Kammerkonstruktion und Prozesskontrolle, um die Herstellung komplexer Komponenten zu unterstützen. Das System ist ideal für eine breite Palette fortschrittlicher Materialabscheidungs- und Ätzanforderungen und bietet einen flexiblen Werkzeugsatz. AMAT ENDURA-Einheit wird hauptsächlich für chemische Dampfabscheidung (CVD) und Ätzprozesse verwendet. Es nutzt Mikrowellen und Hochfrequenz (RF), um den CVD-Kammerinhalt im Plasmazustand zu halten. Die Mikrowellenenergie dient zur Erzeugung von Vorstufen und Radikalen, die dann zur Abscheidung bestimmter Zielmaterialien auf Wafern oder Substraten verwendet werden können. Die HF-Energie dient zur Aufrechterhaltung eines gleichmäßigen Plasmas und zur Steuerung der Reaktionsgeschwindigkeit. Dies gewährleistet einen gleichmäßigen Filmaufbau und hohe Abscheideraten. Der Reaktor umfasst mehrere leistungsstarke Verarbeitungsmöglichkeiten wie eine Mitteldruck-CVD-Maschine, ein Hochdruck-CVD-Werkzeug, eine MFC-kompatible Verarbeitungsanlage, ein dynamisches Mikrowellenabgasmodell, ein Aktivgasmischmodul und eine mikroelektromechanische Verarbeitungskammer. Die Multi-Prozess-Ausrüstung wurde entwickelt, um die Palette der verfügbaren Materialabscheidungs- und Ätzprozesse zu erweitern. Das System bietet auch eine außergewöhnliche Kontrolle und Genauigkeit, so dass Benutzer problemlos Prozessparameter nach Bedarf anpassen können. Das ENDURA-Gerät verwendet mehrere fortschrittliche Technologien, um präzise Ergebnisse zu erzielen. Es ist mit einer Prozessüberwachungsmaschine ausgestattet, die Rückkopplungsschleifen aus jeder Kammer verwendet, um sicherzustellen, dass das gesamte Werkzeug ordnungsgemäß arbeitet. Die Anlage umfasst auch ein MFC-Modell (Mass Flow Control), um einen präzisen Materialfluss zur Kammer und präzise Gasströme im gesamten Gerät zu gewährleisten. Der Reaktor verfügt auch über eine integrierte Temperaturregelung, die bequem an verschiedene Anwendungen angepasst werden kann. Darüber hinaus sind die Scanner und Aktoren vollständig in das System zur präzisen Nachbearbeitung integriert. Dies ermöglicht eine bessere Kontrolle und genauere Ergebnisse. Insgesamt ist ENDURA eine ideale Wahl für präzise und fortschrittliche Materialätz- und Abscheideprozesse. Es bietet eine hervorragende Prozesssteuerung, eine erweiterte Palette von Materialien, die verarbeitet werden können, und einen zuverlässigen Betrieb. Die Vielseitigkeit der Maschine und die präzise Temperaturregelung machen sie zu einem leistungsstarken Werkzeug zur Herstellung komplexer Komponenten.