Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9150112 zu verkaufen

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ID: 9150112
Pre-clean chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist eine revolutionäre Art von Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Ausrüstung. Es ist ein hochflexibles und fortschrittliches System, das überlegene Folienqualität und -leistung in einer Vielzahl von Abscheidungsanwendungen bietet. Das Gerät wurde entwickelt, um Anwendern modernste Optionen zur Definition der Parameter ihres einzigartigen Prozesses zur Verfügung zu stellen und gleichzeitig Produktivität und Output zu maximieren. AMAT ENDURA Reactor besteht aus einem Einkammer-Stapel-Design, das mehrere Wafer-Fähigkeiten von bis zu neun Zoll Wafern oder höher mit einer Reihe von Dummy-Wafern ermöglicht, um die Gleichmäßigkeit der Folienqualität zu gewährleisten, um die Anforderungen einer Vielzahl von Anwendern zu erfüllen. Die vollautomatisierte Lösung wird durch fortschrittliche Prozessregler-Systeme mit Fähigkeiten ergänzt, die von der Niedertemperaturvorstufensteuerung über die Kammerdruckregelung und die Gleichmäßigkeit vom Substrat bis zum Substrat reichen. Der Reaktor verwendet Kantenvorspannungen mit speziellen Fokussierplatten und genauen Wafer-Positionierern, um eine gleichmäßige Abscheidung zu erreichen. Genaue Filmleistung wird auch durch die erweiterten Prozessüberwachungsfunktionen von APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor gewährleistet, einschließlich eines In-situ-Massenspektrometers und eines Reflektometers. ENDURA Reactor ist auch mit einer Lastschloßmaschine für die Integration von Hilfsprozessen ausgestattet und mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen und Überwachungsfunktionen erhältlich. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist vielseitig und benutzerfreundlich, so dass Benutzer ihre Prozessparameter schnell und einfach definieren können und sie schnell an sich ändernde Anforderungen anpassen können. AMAT ENDURA Reactor ist energieeffizient und trägt zur Senkung der Energiekosten bei und entspricht den höchsten Sicherheitsstandards, die eine sichere Arbeitsumgebung gewährleisten. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ein hochentwickeltes Werkzeug, das überlegene Folienqualität und Leistung in einer Vielzahl von Abscheidungsanwendungen bietet. Anwender von ENDURA Reactor bieten mehrere Wafer-Funktionen, fortschrittliche Prozessregler-Systeme sowie In-situ-Massenspektrometer und -Reflektometer und können Parameter schnell und einfach für ihre gewünschte Anwendung anpassen, die Energiekosten senken und gleichzeitig die Produktivität steigern.
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