Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9161792 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9161792
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Chamber, 12"
Software OS: Windows
2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein hocheffizienter, hochmoderner Reaktor, der für hohe Geschwindigkeit und hohe Serienproduktion ausgelegt ist. Es ist eine außergewöhnlich vielseitige und zuverlässige Plattform, die Wafer bis zu 150 mm und bis zu 300 mm verarbeiten kann. AMAT ENDURA verwendet fortschrittliche Technologien, um die höchste Qualität der Prozesse zu gewährleisten, einschließlich fortschrittlicher Wafer-Kartierung, mehrachsiger Waferausrichtung, mehrzoniger Temperaturregelung und fortschrittlicher Leistungssteuerung. Durch diese Eigenschaften hat sich APPLIED MATERIALS ENDURA zum Branchenführer für Hochvolumendurchsatz und hochpräzise Prozesssteuerung entwickelt. ENDURA ist aus Aluminium- und Edelstahlkomponenten der Luft- und Raumfahrtklasse gefertigt, um eine starke und robuste Struktur zu bieten. Gekoppelt ist dies mit einer hochintelligenten Wafer-Bearbeitungs-Steuerungssoftware, die in der Lage ist, mehr als 50 verschiedene Prozesse während des Prozesses wie Wafer-Mapping und -Ausrichtung, HDTV-Inspektion, Oxidation, Abscheidung und Ätzen durchzuführen. Mit AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA lassen sich hochwertige Silizide und Epitaxieschritte mit hoher Präzision erreichen. Eines der beeindruckendsten Merkmale von AMAT ENDURA ist seine Fähigkeit, stabile, wiederholbare Ergebnisse über alle Substrate zu liefern. Dies wird durch eine doppelseitige Substratkartierung und -ausrichtung erreicht, die für beide Waferseiten konsistente Ergebnisse gewährleistet. Darüber hinaus verfügen die Waferbewegungs-Subsysteme über Hochgeschwindigkeits-Gleichstrommotoren, die sehr präzise und präzise Schritt- und Wiederholbewegungen ermöglichen, die Prozesse noch konsistenter machen. Das fortschrittliche thermische Verifizierungssystem unterstützt die Aufrechterhaltung einer gleichmäßigen Temperatur über die gesamte Prozesskammer und ermöglicht eine sehr genaue Kontrolle der Temperatur zwischen verschiedenen Substraten. Dies hilft, jedes Risiko thermischer Schwankungen durch die Bearbeitungsschritte zu vermeiden, was zu konsistenteren Ergebnissen führt. Dieses fortschrittliche Steuerungssystem verfügt auch über einen hochpräzisen Einzonen-selbstadaptiven Wafertemperatursensor, der genaue Messungen der Wafertemperatur während der Verarbeitung gewährleistet. Schließlich verfügt APPLIED MATERIALS ENDURA auch über ein umfassendes Datenlogging-Paket, mit dem Anwender ihre Verarbeitungsprotokolle effizient überprüfen können. Dieses Datenlogging-Paket verfügt über hochwertige Aufnahmeauflösungen, Echtzeit-Anzeige von Protokollinhalten und benutzerdefinierte Protokollierungsparameter. Dieses Paket hilft dem Endbenutzer, Probleme mit seinen Prozessen mit Leichtigkeit und Genauigkeit zu beheben. Insgesamt ist ENDURA eine hocheffiziente und zuverlässige Verarbeitungsplattform mit fortschrittlichen Prozesskontrolltechnologien, die es dem Anwender ermöglichen, wiederholbare qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Es ist die ideale Wahl für hohe Serienbedürfnisse.
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