Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9165615 zu verkaufen

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AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
Verkauft
ID: 9165615
Chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein leistungsstarker Vollfeld-Chargenreaktor für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieser Reaktor wurde für die Verwendung mit einer Vielzahl von Ätz- und Abscheidungsanwendungen entwickelt und bietet eine hervorragende Prozessgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit. AMAT ENDURA Reaktor verfügt über zwei Temperaturzonen, zwei Gaszonen, zwei Stromquellen und zwei Plasmaquellen, die in Kombination verwendet werden können, um die idealen Bedingungen für eine Vielzahl von Halbleiterbauelementherstellungsaufgaben zu schaffen. ANWENDUNGSMATERIALIEN ENDURA Reaktor bietet außergewöhnliche Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit durch die Verwendung seiner fortschrittlichen Steuerungssysteme, einschließlich eines Touchscreen-Display, das von Hand oder mit Fußpedalsteuerung bedient werden kann. Auf diese Weise können Anwender Parameter wie Substrattemperatur, HF-Leistung, Plasmaparameter und Gasfluss einstellen, um die beste Prozessleistung zu erzielen. Diese gut gestaltete Reaktorkammer verfügt über eine Mehrkammerarchitektur, mit der sie mehrere Prozessaufgaben gleichzeitig bewältigen kann. Seine gasdichte Konstruktion gewährleistet einen stabilen, langanhaltenden Betrieb in Gegenwart mehrerer reaktiver Gasarten. Durch den Einsatz robuster mechanischer Dichtungen an den Kammerwänden bleibt die Vakuumintegrität im Betrieb erhalten. Der Reaktor kann mit einer Vielzahl von Gasen wie Sauerstoff, Chlor, Fluor, Argon und Stickstoff ausgestattet sein, die für Abscheide-, Ätz- und Reinigungsvorgänge verwendet werden können. Das fortschrittliche Gasfördersystem sorgt für eine präzise, wiederholbare Abgabe dieser Reaktantgase. ENDURA Reaktor kann auch mit einer breiten Palette von Spezialitäten wie automatische Kammerreinigung, Temperaturregelung und eine Kammer-Temperatur-Missbrauchssystem ausgestattet werden. Dadurch kann der Reaktor über einen weiten Temperaturbereich arbeiten, ohne die Prozessleistung zu beeinträchtigen. Der Reaktor ist sehr modular und anpassbar, so dass der Benutzer Komponenten wie zusätzliche Stromquellen und Plasmaquellen hinzufügen kann. Dies ermöglicht die Verwendung für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich Abscheidung, Ätzen, Ionenimplantation und Reinigung. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen. Es bietet ausgezeichnete Prozessgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit sowie flexible, anpassbare Bedienung. Es ist auch sehr zuverlässig und bietet eine lange, wartungsfreie Lebensdauer.
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