Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167421 zu verkaufen
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ID: 9167421
Wafergröße: 12"
PVD Preclean chamber, 12"
Includes:
CTI Cryogenics P300 On-Board cryopump
P/N: 8116250G001 & 8113192G001 Control module
GRANVILLE-PHILLIPS Stabil-ion gauge & 352 gauge controller
AMAT 0010-21748 RF match
Process chems: DI water helium argon nitrogen.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist ein Werkzeug, das in der Halbleiterindustrie für Anwendungen der physikalischen Dampfabscheidung (PVD) und der chemischen Dampfabscheidung (CVD) verwendet wird. Es bietet produktionsfähigen Durchsatz mit mehreren Kammerkonfigurationen und die Fähigkeit, eine Vielzahl von Ablagerungen durchzuführen. AMAT ENDURA ist ein in sich geschlossenes, einfach zu bedienendes Werkzeug, das die Bedienung vereinfacht, die Prozessergebnisse verbessert und Ausfallzeiten reduziert und gleichzeitig die Markteinführungszeit verkürzt. Es verfügt über ein innovatives Load-Lock-Design, das die Effizienz maximiert und es Benutzern ermöglicht, Substrate zwischen verschiedenen Prozesszonen zu übertragen. Der Hauptvorteil von APPLIED MATERIALS ENDURA ist sein Hochleistungs-Prozesskopf, der speziell für komplexe Metallisierung und fortschrittliche dielektrische Anwendungen der nächsten Generation entwickelt wurde. Dieser Prozesskopf ist in der Lage, bis zu fünf Prozessschritte in einer einzigen Kammer zu bewältigen, wodurch es möglich ist, mehrere Ablagerungen in stark reduzierten Zykluszeiten durchzuführen. Darüber hinaus verfügt ENDURA über hocheffiziente Gasquelleneinlässe, die eine erhöhte Temperaturstabilität in der Prozesskammer bieten. Dies führt zu einer verbesserten Wafer-Gleichmäßigkeit und Prozesswiederholbarkeit für ein konsistenteres Produkt. Mit AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA können auch niedrige Defektwerte innerhalb derselben Prozesskammer erreicht werden. Dies ist auf die geringe Partikelverunreinigung zurückzuführen, die durch ein patentiertes modulares Gate-Feeding-System ermöglicht wird, das nur kontaminierte Partikel austreten lässt. AMAT ENDURA verfügt zudem über eine Mehrkammer-Plattform, mit der Anwender die richtigen Konfigurationen für ihre spezifischen Anwendungen auswählen können. Mit mehreren verfügbaren Konfigurationen können Benutzer ihre Setups einfach anpassen und mehrere Arten von Ablagerungen gleichzeitig durchführen, wodurch ihre Prozessflexibilität maximiert wird und sie ihre gewünschten Ergebnisse schnell erzielen können. Schließlich ist APPLIED MATERIALS ENDURA ein einfach zu bedienendes Werkzeug. Es beinhaltet eine intuitive Touchscreen-Benutzeroberfläche, die die Erstellung von Rezepten und die Optimierung von Prozessen vereinfacht und Anwendern hilft, ihre gewünschten Produktergebnisse schnell und präzise zu erzielen. Zusammenfassend bietet ENDURA-Reaktor einen produktionsfähigen Durchsatz mit verschiedenen Kammerkonfigurationen, der mehrere Prozessschritte und Ablagerungen in reduzierten Zykluszeiten ermöglicht. Es ist ein leistungsstarkes, einfach zu bedienendes Werkzeug, das die Bedienung vereinfacht und die Prozesszeit reduziert und wiederholbare Ergebnisse bei niedrigen Defekten erzielt.
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