Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9167548 zu verkaufen

AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein Werkzeug zur Bearbeitung von Substraten in Forschung und Produktion. Dieses Tool wurde speziell für Einzelwafer- und Chargenverarbeitungsanwendungen in den Bereichen Halbleiter, fortschrittliche Verpackung und Photovoltaik/Solarenergie entwickelt. Dieser Reaktor verwendet ein einzigartiges kontinuierliches Wafertransportverfahren, das einen verbesserten Waferdurchsatz und eine verbesserte Ausbeute bietet. AMAT ENDURA ist die ideale Wahl für den Prozess. Es bietet Vollwaferbearbeitung im gleichen Reaktor mit Durchsätzen von bis zu 100 Wafern pro Stunde. Das Werkzeug bietet eine Vielzahl von Optionen für verschiedene Modulbearbeitung einschließlich Glühen, Oxidation, Ätzen, Diamantabscheidung, Ionenimplantation und so weiter. Das System bietet auch ein automatisiertes Be- und Entlademodul mit 0,5 Sekunden Transferzeit zwischen Modulen. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA besteht aus der Reaktorkammer, dem Substrathandler und mehreren Verarbeitungsmodulen. Die Reaktorkammer hat eine zylindrische Form mit einem großen Fläche-Volumen-Verhältnis, was einen Niederdruckbetrieb und eine minimale Plasmakontamination ermöglicht. Damit eignet sich das System sowohl für die Verarbeitung von Einzelwafer- als auch Batch-Verarbeitungsanwendungen. Der Substrat-Handler ist so konzipiert, dass er eine schnelle und genaue Übertragung der Substrate zwischen der beladenen Kassette und den Verarbeitungsmodulen ermöglicht. ENDURA bietet überlegene Prozessflexibilität, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit. Dies macht es ideal für fortgeschrittene F & E-Aufgaben sowie Massenproduktion. Es ist mit Präzisionskontrollsystemen und genauen Heizsystemen ausgestattet, was bedeutet, dass das Werkzeug die Prozessgase und Prozesstemperaturen präzise steuern kann. Dies führt zu niedrigeren Abscheideraten als mit anderen Abscheidungssystemen erreichbar sind. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA wurde entwickelt, um zuverlässige Prozesse bereitzustellen, da es verschiedene redundante Prozessparameter für Temperatur-, Druck- und Durchflussmessungen hat. Es ist auch mit einer Reihe von Sicherheitsmerkmalen konzipiert. Dazu gehören eine Oberflächentemperaturüberwachung und in der Bearbeitungskammer befindliche Übertemperatursensoren. Was die Leistung angeht, ist AMAT ENDURA unvergleichlich. Dieses Tool bietet schnelle Zykluszeiten, überlegene Prozesswiederholbarkeit und hohe Prozesserträge. Es bietet auch die neueste Prozessautomatisierung, die sowohl Einzel- als auch Stapelverarbeitungsanwendungen ermöglicht. Sein vielseitiges Design und seine Zuverlässigkeit machen es zur idealen Wahl für jede Substratverarbeitung.