Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9170733 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist eine fortschrittliche, vielseitige, hocheffiziente Prozesskammer für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen. AMAT ENDURA Reaktor hat eine breite Palette von Fähigkeiten, einschließlich Ätzen, Abscheidung, Oxidation und andere Verarbeitung. Der Hauptvorteil von APPLIED MATERIALS ENDURA ist der verbesserte Durchsatz und die Gleichmäßigkeit des Verfahrens. ENDURA Kammer besteht aus einem großen zylindrischen Edelstahlgefäß mit einer flachen, einheitlichen Bodenplatte. Die Wände des Gefäßes sind mit Quarz- oder Keramikisolatoren ausgekleidet. Innerhalb der Kammer ermöglicht ein Mehrfachprallsystem die Gleichmäßigkeit von Prozessdruck, Temperatur und Prozessgasen. Die verschiedenen Komponenten der Endura, darunter Stromversorgungen, Vakuumpumpen, Kühlsysteme und Gasfördersysteme, sind auf einer Plattform montiert, die Teil der Endkappe ist. Das Kühlsystem für AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA verwendet Flüssigkeitskühlung, entweder Wasser oder eine proprietäre Mischung aus Glykol, die durch die Kammerwände und Teile zirkuliert wird. Dieses Kühlsystem hält die Temperatur der Kammer und schützt sie vor den hohen thermischen Belastungen, die bei der Verarbeitung entstehen. Darüber hinaus hilft die Kühlung, eine gleichmäßigere Wärmeverteilung aufrechtzuerhalten, um eine hohe Prozessgleichförmigkeit zu ermöglichen. Eine Reihe von Gasen kann im AMAT ENDURA Reaktor eingesetzt werden, einschließlich nicht-reaktiver Prozessgase und biologischer Komponenten wie Siliciumtetrachlorid, Stickstofftrifluorid, Stickstoffdioxid und Ozon. Je nach Verfahrensart können mehrere Gase gleichzeitig bei unterschiedlichen Konzentrationen und Drücken eingesetzt werden. Die Kammer ist mit einer Vielzahl von Öffnungen ausgelegt, die sowohl die Einleitung als auch die Evakuierung von Gasen ermöglichen. Die Netzteile und andere Komponenten von APPLIED MATERIALS ENDURA wurden entwickelt, um den Stromverbrauch zu minimieren und die thermische Belastung zu minimieren. Seine kapazitiv gekoppelte, HF-Generator-Konstruktion liefert hochfrequente Leistung zum Ätzen und Abscheiden. Der Generator ist starr an der Kammer angebracht, und die HF-Generatorsteuerung ist von einem elektronischen Bedienfeld aus zugänglich, was eine präzise Einstellung ermöglicht. ENDURA ist ein effektives und vielseitiges Werkzeug für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen, das einen verbesserten Durchsatz, Einheitlichkeit und verbesserte Wärmemanagementfunktionen bietet. Es ist auch einfach zu bedienen und zu warten, so dass es eine ideale Wahl für den Einsatz in Halbleiter- und anderen fortgeschrittenen Bereichen.