Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9176602 zu verkaufen
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ID: 9176602
Wafergröße: 12"
IMP Ti Chamber, 12"
Includes:
CVD Tin chamber
Preclean chamber
Currently warehoused.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein Reaktor, der Anwendungen für fortschrittliche Materialforschung über eine Vielzahl von Temperaturen liefert. Das Gerät ist mit einer gleichmäßigen Temperaturkammer und einer Vielzahl von Funktionen wie Plasmabehandlung, zwei Öfen und einer beheizten Zone ausgestattet, die Flachbildschirme mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit bei jeder Temperatur bietet. Sie eignet sich somit sowohl für schnelle thermische Prozesse (RTP) als auch für schnelle thermische Glühprozesse (RTA). Die beheizte Zone von AMAT ENDURA kann Temperaturen von 80 ° C bis 1050 ° C liefern. Die Gleichmäßigkeit in den Wärmequellen sorgt für Gleichmäßigkeit in der thermischen Verarbeitung, die für die fortschrittliche Materialforschung unerlässlich ist. Das System enthält auch Plasmaquellen, die wiederum ein Tieftemperaturplasma für die Materialbehandlung und Abscheidung liefern. APPLIED MATERIALS ENDURA wurde entwickelt, um mit hochempfindlichen Materialien wie Indiumzinnoxid (ITO) und Dielektrika sowie optisch aktiven Materialien wie Keramik und Diamant zu arbeiten. ENDURA umfasst zwei Ofenmodule, eines mit einem Graphitheizelement und eines mit einem Siliziumcarbid (SiC) Heizelement. Die Heizelemente sind beide für bis zu 1000 ° C ausgelegt und werden in einer Vakuumkammer montiert, um eine hervorragende Gleichmäßigkeit der Erwärmung über das Substrat zu bieten. Die Ofenmodule bieten eine hervorragende Gleichmäßigkeit bei höheren Temperaturen, was für die fortschrittliche Materialforschung entscheidend ist. Die Maschine ist mit zwei Plasmaquellen ausgestattet, einer für reaktive Ionenätzverfahren (RIE) und einer für chemische Dampfabscheidungsprozesse (CVD). AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA verfügt zudem über ein integriertes parametrisches Messwerkzeug (PMS), mit dem das Laborpersonal den Fortschritt seiner Experimente überwachen kann. Das PMS bietet Strom-, Temperatur- und Widerstandsauslesungen an, so dass Forscher die Parameter ihrer Experimente in Echtzeit genau messen können. Das PMS erleichtert auch die Erweiterung der Fähigkeiten des Asset und ermöglicht die Integration der neuesten Werkstoffentwicklungstechnologien wie 3D-Fertigung oder Nanoröhrenanwendungen. Insgesamt ist AMAT ENDURA eine zuverlässige und leistungsstarke Reaktor- und Laborlösung für fortschrittliche Materialforschung und -entwicklung. Seine gleichmäßige Temperatur-Kammer und sein breites Spektrum an Merkmalen, darunter zwei Öfen und beheizte Zonen, Plasmaquellen und ein parametrisches Messmodell, machen es zu einer idealen Wahl für schwierige Materialbearbeitungsoperationen. Die Ausrüstung ist vielseitig und zuverlässig und kann in einem beschleunigten Zeitrahmen hervorragende Ergebnisse liefern.
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