Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9182273 zu verkaufen

ID: 9182273
Wafergröße: 12"
AXZ Chambers, 12" Process: PVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist eine Mehrkammerausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen in Halbleiter- und anderen Prozessindustrien eingesetzt werden kann. Der Reaktor ermöglicht qualitativ hochwertige Fertigungsprozesse mit einer Vielzahl von Merkmalen wie Hochtemperatur/Druck/Vakuum kompatiblen Betrieb sowie plasmabasierte Abscheidungslösungen. Dieses System bietet eine hohe Flexibilität bei der Auswahl und Kombination von Werkstoffen für die Fertigung. Die Kammer des AMAT ENDURA Reaktors ist speziell für die Abscheidung von fortgeschrittenen Metallen und Materialien konzipiert. Es ist mit fortschrittlichen Prozesskontrolltechnologien ausgestattet, die eine genaue Steuerung der Prozessvariablen ermöglichen. Die Reaktoren sind mit großen Fenstern an der Oberseite, Unterseite und Seiten der Kammer ausgestattet, um eine ununterbrochene Beobachtung des Prozesses zu ermöglichen. Der Kondensator in der Einheit hilft, Partikel zu eliminieren und der Elektrode elektrischen Strom zuzuführen. Die Temperatur in der Kammer wird durch einen keramischen Spaltheizer gesteuert, der sowohl manuell als auch automatisch gesteuert wird. Der ENDURA-Reaktor ist mit einer Elektronenzyklotronresonanzquelle ausgestattet, die in Kombination mit einer induktiv gekoppelten Plasmaquelle eine sehr effiziente Plasmaumgebung erzeugt. Die effiziente Plasmaumgebung ermöglicht die Abscheidung einer Vielzahl von Makroplasma-basierten Materialien. Die Reaktorkammer ist ferner mit einer Gasverteilungsmaschine versehen, die die Prozessgase exakt auf der Oberfläche des Substratmaterials verteilt. Dieses Tool ermöglicht auch einfache Gasvorfiltrations- und Überwachungsfunktionen. ENDURA Reaktor ist äußerst benutzerfreundlich und sicher ausgelegt. Es kommt mit eingebetteter Software, die es dem Benutzer ermöglicht, sowohl die Hardware als auch die Prozessparameter einfach zu programmieren, zu überwachen und zu steuern. Das Asset verfügt außerdem über eine breite Palette von Funktionen wie integrierte Alarmsysteme, Unterstützung für Datenprotokollierung/-historie und erweiterte Funktionen zur Überwachung von Material/Elektroden. Auch die Sicherheitsmerkmale wie Übertemperaturschutz und Überstromschutz sind vorhanden. Insgesamt ist der AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor eine ideale Wahl für ein breites Spektrum an Fertigungs- und Prozessanwendungen. Das vielseitige Design, die benutzerfreundliche Oberfläche und die hochwertige Konstruktion machen es zur perfekten Wahl für die moderne Fertigungsindustrie.
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