Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9182274 zu verkaufen

ID: 9182274
Wafergröße: 12"
Chamber, 12" Process: PVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist eine Mehrkammerprozessplattform für fortgeschrittene Halbleiterforschungs- und Entwicklungsanwendungen. Es kann für eine breite Palette von Prozessanforderungen wie Heben, Mustern, Dotieren, Messtechnik und epitaktisches Wachstum verwendet werden. AMAT ENDURA Plattform besteht aus einer Reihe von miteinander verbundenen Kammern, die die Abscheidung, das Ätzen und die Analyse der zu verarbeitenden Materialien antreiben. APPLIED MATERIALS ENDURA Platform ist eine hochdichte Ausrüstung, die bis zu fünf Wafer unterschiedlicher Größe gleichzeitig verarbeiten kann. Es ist zu hohem Durchsatz fähig und kann mehrere Ablagerungen und Ätzungen parallel ausführen. Das Modell ist mit Hochleistungs-HF- und DC-Stromquellen sowie schnellen Heiz-/Kühlmechanismen ausgestattet, um eine maximale Gleichmäßigkeit und Kontrolle des Prozesses zu gewährleisten. Für die Abscheidung ENDURA Plattform kann entweder physikalische Dampfabscheidung (PVD) oder chemische Dampfabscheidung (CVD) verwendet werden. Es eignet sich gut für thermische oder Niederdruckabscheidungstechniken und bietet eine hervorragende Stufendeckung. Das Abscheideverfahren zeichnet sich durch eine hohe Wiederholbarkeit sowie eine gute Gleichmäßigkeit und Haftung aus. Die Ätzfähigkeiten von AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA basieren auf der Plasmabearbeitung aus einer Vielzahl von Gasen. Dies gewährleistet eine hohe Ätzqualität bei geringer Defektivität für eine Vielzahl von Anwendungen. Das Modell verfügt über integrierte Ätzrezepte für routinemäßige Ätzaufträge sowie ein flexibles Ätzratenregelungssystem für die anspruchsvollsten Aufgaben. Es ist auch mit einer Regelkreis-Rückkopplungseinheit ausgestattet - spezialisierte Computerprogramme, die den Prozess automatisieren und die Ätzraten und Endpunktbedingungen überwachen können. AMAT ENDURA Maschine ist auch für die messtechnische Analyse konzipiert. Es verfügt über integrierte messtechnische Merkmale der Flachgraben-Isolation (STI), die es ideal für die Entwicklung und Prüfung von Prozessen machen, die eine enge Kontrolle der Schichtdicke erfordern. APPLIED MATERIALS ENDURA Platform ist ein leistungsstarkes Werkzeug für fortgeschrittene Halbleiterforschung und -entwicklung. Es ist flexibel und kostengünstig, was es zu einer klugen Investition für jedes Labor oder Produktionsstätte macht. Die Maschine kann nicht nur den Durchsatz erhöhen, sondern auch reproduzierbare, hochwertige Ergebnisse mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit liefern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor