Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9190959 zu verkaufen

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ID: 9190959
Wafergröße: 8"
Vectra imp chamber assy, 8" Wide chamber body Magnet P/N: 0010-21767 Includes: Coil match box Bias match box B101 Heater, 8" Shutter assy 3 Position gate valve 3Ph enhanced cryo MDX L12M With cable HFV 8000 With cable 11KW CX 600S With cable.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein CVD-basiertes (Chemical Vapor Deposition) Dünnschichtabscheidungsgerät, das entwickelt wurde, um eine präzise, dünne Filmabscheidung präziser Dicken und Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. Das AMAT ENDURA-System ist eine fortschrittliche Hochleistungslösung mit hohem Durchsatz, die in der Lage ist, konsistente und zuverlässige Dünnschichtschichten mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Konformität herzustellen. Die Hauptanwendungen dieser Einheit umfassen dielektrische Filmabscheidung, Barriereschichten, Passivierungsschichten und Ätzstoppschichten. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA besteht aus drei Hauptkomponenten, um den gewünschten Dünnfilm zu liefern: die Ladeplatte, das Reaktionsgefäß und die Steuerungsmaschine. Die Ladeplatte besteht aus einer Reihe von Klammern, die Substrate halten und zum Reaktionsgefäß transportieren. Das Reaktionsgefäß ist der größte Bestandteil des Werkzeugs und besteht typischerweise aus einer großen zylindrischen Edelstahlkammer mit zwei oder drei wassergekühlten Elektroden mit Hunderten von diamantgekippten Elektroden innerhalb der Kammer, um ein gleichmäßiges, negatives elektrostatisches Feld zu erzeugen. Das Steuerungsmodell von ENDURA asset ermöglicht eine präzise Steuerung des gesamten Abscheideprozesses. Dazu gehören die Einstellung von Parametern wie Druck, Temperatur und Gasflussraten zum Reaktionsgefäß sowie die Leistungskompensation zu den Elektroden. Zusätzlich können die Temperatur des Reaktionsgefäßes, die Anzahl der Elektroden und der Abstand der Elektroden und die Geschwindigkeit des Substrattransports nach Bedarf eingestellt werden. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist für eine schnelle Abscheidung von dünnen Filmen mit Gleichmäßigkeit und Konformität auf einer Vielzahl von Substraten, einschließlich organischer und anorganischer Materialien, konzipiert. Dieses Gerät kann auch höhere Abscheideraten als andere ähnliche Systeme erreichen, mit Abscheideraten von bis zu 10 Mikrometer (µm) pro Stunde. Dieses System bietet die Fähigkeit, sehr wiederholbare und reproduzierbare Prozessergebnisse zu erzielen, wodurch die Genauigkeit und Präzision des Dünnschichtabscheidungsprozesses gewährleistet wird. Für die Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit der Prozesse verfügt AMAT ENDURA auch über eine Reihe integrierter ausfallsicherer Funktionen, wie eine Übertemperaturschutzeinheit und eine Reihe von Sensoren zur Überwachung des Prozesses. ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA ist eine vielseitige und dynamische Maschine, ideal für Industrien, die eine hochwertige Dünnschichtabscheidung benötigen. ENDURA-Tool bietet überlegene Prozessergebnisse, ausgezeichnete Gleichmäßigkeit und Konformität, überlegene Ablagerungsrate und eine Vielzahl von automatisierten ausfallsicheren Funktionen. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA asset ist eine ideale Lösung für die Entwicklung und Herstellung hochwertiger Dünnschichtprodukte.
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