Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198491 zu verkaufen
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ID: 9198491
Wafergröße: 12"
Membrane support fixture TITAN Head, 12"
Part number: 0040-41846.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist eine vielseitige, kostengünstige Plattform für Abscheide- und Ätzprozesse auf Waferebene. Es verfügt über eine innovative, aber zuverlässige Architektur und softwarewählbare Prozessrezepte. AMAT ENDURA Reaktor ist entworfen, um eine breite Palette von Abscheidungs- und Ätzprozessen zu handhaben, so dass der Benutzer die Reihenfolge der physikalischen und chemischen Operationen schnell auswählen und ändern kann. Die robuste Konstruktion und Architektur des Reaktors APPLIED MATERIALS ENDURA ermöglicht einen anhaltenden, hohen Durchsatz und liefert eine gleichmäßige Leistung über das Substrat. Es wurde entwickelt, um überlegene Materialflexibilität zu liefern, die das Ätzen von harten und weichen Materialien sowie das Abscheiden von komplexen Metalllegierungen ermöglicht. Eine erweiterte Palette von Plasmaquellen, einschließlich D.C., I.F. und R.F., ermöglichen eine ausgezeichnete Gleichmäßigkeit für komplexe Prozesse und hi-k dielektrische Materialien. ENDURA-Reaktor ist auch für eine breite Palette von Quellgasen einschließlich O2, Ar, Xe und He, sowie viele Kombinationen von zusätzlichen Chemien. Der modulare Aufbau des Reaktors bietet Flexibilität bei der Konfiguration verschiedener Ätz- und Abscheidekammern und ermöglicht sogar den Einsatz verschiedener Chemikalien in einem System. Die intuitive Software-Suite AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA enthält eine Auswahl benutzerfreundlicher Funktionen zur Unterstützung von Prozessrezepten. Benutzer können die Reihenfolge der physikalischen und chemischen Vorgänge schnell auswählen und ändern, so dass der AMAT ENDURA Reaktor verschiedene Prozesse problemlos ohne Änderungen an der Hardware unterstützen kann. Mit dieser praktischen Funktion können Benutzer Zeit und Geld sparen, wenn sie zwischen Prozessen wechseln. Neben seiner Prozessfähigkeit verfügt der Reaktor APPLIED MATERIALS ENDURA über mehrere aufwendige Überwachungs- und an Bord befindliche Diagnosewerkzeuge, um genaue und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Die an Bord befindlichen Sensoren des Reaktors bieten eine Rückkopplung in Echtzeit, sodass Strom, Druck, Temperatur und andere Parameter für eine optimale Leistung angepasst werden können. ENDURA-Reaktor wird gebaut, um die Prozessumgebung zu erhalten und Partikel auf einem niedrigen Niveau zu halten, wodurch höhere Erträge ermöglicht werden. Darüber hinaus ist das System so konzipiert, dass es die Prozessumgebung automatisch überwacht, um Änderungen zu erkennen, die zu falschen Prozessergebnissen führen könnten. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist eine vielseitige, zuverlässige und kostengünstige Plattform für Abscheide- und Ätzprozesse auf Waferebene. Sein breites Einsatzspektrum, benutzerfreundliche Software und gründliches Überwachungssystem machen es zu einer großen Auswahl für eine breite Palette von Wafer-Abscheidungs- und Ätzprozessen.
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