Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198499 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198499
SCR Power supplies Part number: 0190-03672.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein vielseitiger, hochleistungsfähiger, vollautomatischer Reaktor für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. Dieser Multifunktionsreaktor ermöglicht die gleichzeitige Abscheidung, Ätzung und Reinigung in einer einzigen Arbeitsstation. Das Gerät ist mit einem AMAT-patentierten Aeroflex-Düsendesign ausgestattet, das eine gleichmäßige Partikelverteilung und eine genaue Prozesskontrolle für eine effizientere und exaktere Filmabscheidung gewährleistet. Mit dieser Funktion kann AMAT ENDURA ultradünne Folien sowie Mechanismen zur Optimierung von Foliendicke und Gleichmäßigkeit auf Wafern bereitstellen. Die Gasverteilung des Systems erfolgt gleichmäßig über die gesamte Substratoberfläche mit Hilfe einer aufwendigen Gasmanagementeinheit, wobei die Gasflussmessungen auf eine hohe Genauigkeit gehalten werden. Darüber hinaus verfügt APPLIED MATERIALS ENDURA über eine automatisierte Hardware-Überwachungsmaschine für die Prozesssteuerung, mit der bis zu 8 verschiedene Reaktorparameter verwaltet werden können. Dazu gehören Echtzeit-Rückkopplungsströme für Druck, Strömung und Temperatur, die eine präzise und genaue Prozesssteuerung ermöglichen. Das Tool verwendet auch eine rezeptbasierte Softwareplattform, mit der der Benutzer sein gewünschtes Prozessrezept vorprogrammieren und seine Prozessparameter für den zukünftigen Benutzer speichern kann. Darüber hinaus kann ENDURA mit einer Vielzahl unterschiedlicher Reaktorkonfigurationen eingesetzt werden, was seinen Einsatz bei einer Vielzahl von Prozessanwendungen ermöglicht. Das Asset kann in einer sequentiellen oder Cluster-Anordnung verwendet oder in bestehende oder neue Fertigungssysteme integriert werden. Darüber hinaus verfügt AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA mit seinem kleineren Platzbedarf über eine große Prozesskammer, die ein größeres Prozessvolumen ermöglicht. Schließlich umfasst das Modell auch effiziente Evakuierungssysteme, mehrere Turbomolekularpumpen und Hochleistungsheizungen. Dieses hohe Maß an Engineering ermöglicht es AMAT ENDURA, die Grenzen der fortschrittlichen Fertigung zu überschreiten und Funktionen wie erhöhten Durchsatz, verbesserte Prozessgenauigkeit und verbesserte Ausbeute anzubieten. APPLIED MATERIALS ENDURA bietet eine leistungsstarke und flexible Lösung für eine breite Palette von Abscheide- und Ätzanwendungen und ist damit eine ideale Wahl für die fortschrittliche Halbleiterverarbeitung. ENDURA bietet mit seiner umfassenden Ausstattungsfähigkeit und effizienten Prozesssteuerung eine erweiterte Lösung für komplexe Prozessanforderungen.
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