Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198504 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA™ Reactor ist ein Werkzeug für Halbleiterabscheidungsanwendungen und wurde entwickelt, um branchenführende Prozesssteuerung, niedrige Betriebskosten und hohen Durchsatz für eine verbesserte Geräteleistung zu bieten. Dieser Reaktor ist eine hohe Temperatur, Unterdruck-, Ringtypausrüstung, die vielfache Gasspritzenpunkte für die genaue Kontrolle der Temperatur und des Flusses verwertet. AMAT ENDURA Reactor bietet genaue, wiederholbare und einheitliche Prozesskontrolle durch Fokussierung von Schichtgleichförmigkeit, Partikelunterdrückung und Line-Edge-Roughness (LER). Das integrierte Steuerungssystem bietet robuste Steuerschichten und eine präzise Einstellung der Inertgasförderung; Diese Fähigkeit ermöglicht die Gleichmäßigkeit von Foliendicke, Partikelunterdrückung und Strichkantenrauhigkeit, um anspruchsvollen Waferanforderungen gerecht zu werden. Diese Einheit wird ferner durch ihre abgestimmte HF-Quelle unterstützt, die hilft, eine gleichmäßige Spannungsverteilung über die Waferoberfläche zu gewährleisten, was zu einer besseren Haftung und Abscheidungsgleichmäßigkeit bei gleichmäßiger elektrischer Leistung führt. ANWENDUNGSMATERIALIEN ENDURA Reactor bietet auch automatisierte Prozesssteuerung, mit voreingestellten Rezepten und Zyklusparametern. Dies ermöglicht wiederholbare Prozesse mit minimalem menschlichen Input zur Leistungsoptimierung. Die integrierte Statusüberwachungsmaschine ermöglicht eine sofortige Überprüfung aller Prozessparameter zur verbesserten Fehlerbehebung und -steuerung. Dieses Tool bietet darüber hinaus integrierte Sensoren, die eine kontinuierliche Optimierung und Einheitlichkeitskontrolle durch kritische Rückkopplung auf Rückkopplungskorrekturschleifen ermöglichen. ENDURA Reactor umfasst mehrere erweiterte Sicherheitsfunktionen, darunter ein Sicherheitsgehäuse zur Unterbringung des Reaktors, ein schnell evakuierbares Gerät mit einstellbarem Druckschalter und akustischen Alarmen sowie einen Schutzschirm für die Inertgaseindämmung. Darüber hinaus unterstützt das Modell HF-Kompatibilität mit variabler Frequenz zur vollständigen Steuerung von Abscheideparametern sowie zur Remote-Prozessüberwachung. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ein außergewöhnlich effizientes Werkzeug für Halbleiterabscheidungsanwendungen, das entwickelt wurde, um niedrige Betriebskosten, hohen Durchsatz und eine präzise Steuerung der Prozessparameter für signifikante Verbesserungen der Geräteleistung zu bieten. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht eine nahtlose Bedienung und eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen sind weiterhin enthalten, um einen effizienten Betrieb zu gewährleisten und gleichzeitig die Sicherheit als oberste Priorität zu wahren.
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