Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198509 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor (AMAT ENDURA Reactor) ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Es wird in der Entwicklung von fortschrittlichen Geräten für Mikroelektronik, MEMS-Geräte und fortschrittliche IC-Verpackung verwendet. Der Reaktor wurde entwickelt, um Hochtemperaturprozesse in einer robusten Bauweise zu ermöglichen, die eine erhöhte Prozesskontrolle und Sicherheit bietet. ANWENDUNGSMATERIALIEN ENDURA Reaktor verfügt über drei Standardreaktorkammern: eine Hauptkammer, eine zweite Kammer und eine dritte Kammer. Die Hauptkammer ist für höhere Temperaturen (bis 853 ° C) optimiert und dient der thermischen Verarbeitung. Die zweite Kammer wird typischerweise für reaktive Gase verwendet und weist auf der Seite optional eine Flachboden-Epitaxie-Quelle auf. Die dritte Kammer bietet eine Niederdruckumgebung für Abscheideprozesse wie chemische Dampfabscheidung (CVD) und zerstäubte Filmabscheidung. Der Reaktor kann in vielen Gasgemischen arbeiten, darunter Standard-Stickstoff (N2), Argon (Ar), Helium (He) und Wasserstoff (H2). Es hat auch die Fähigkeit, benutzerdefinierte Chemie Vorläufer unterzubringen, so dass für fortgeschrittenere Prozesse wie chemische Gasabscheidung (CHD). Das Vakuumniveau des Reaktors kann mit einer digitalen geschlossenen Schleifeneinrichtung und einem hochpräzisen Druckaufnehmer zur Überprüfung manipuliert werden. ENDURA Reactor ist auch mit einem Wafer-Handling-System ausgestattet, das es Kunden erleichtert, ihre Substrate genau in das Gerät zu legen. Es verfügt über einen hochgenauen Wafergreifer mit einer mechanischen Maschine, die eine präzise und gleichmäßige Platzierung von Substraten ermöglicht. Es verfügt auch über eine erweiterbare Ein-/Ausgangsschnittstelle, die die Kontrolle über mehrere Reaktoren und Endeffektoren bietet. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist auch mit einem fortschrittlichen Kontrollwerkzeug ausgestattet, mit dem Kunden den Status ihrer Chargenprozesse in Echtzeit überwachen und ändern können. Es enthält einen erweiterten PID-Algorithmus, um eine genaue Kontrolle der Reaktionstemperatur, des Zeitpunkts und anderer Prozessparameter zu gewährleisten. Das Asset umfasst auch ein Datenerfassungsmodell und die Fähigkeit, Rezepte zu speichern, um die Effizienz der Prozesswiederholbarkeit zu maximieren. Schließlich verfügt es über ein großes Display, mit dem Kunden den Status des Prozesses einfach überwachen können. AMAT ENDURA Reactor ist ein zuverlässiges und vielseitiges Werkzeug, das sich für eine Vielzahl von Verarbeitungsanwendungen eignet. Sein robustes Design und seine fortschrittlichen Steuerungssysteme bieten eine erhöhte Prozesskontrolle und Sicherheit, was konsistente, leistungsstarke Ergebnisse ermöglicht. Es ist auch einfach zu bedienen und bietet Kunden die Flexibilität, ihre Prozessparameter zu optimieren.
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