Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198512 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein hochleistungsfähiger, großflächiger Plasmaätzreaktor für komplexe Fertigungsprozesse. Das Gerät bietet überlegene Prozessfähigkeiten in Bezug auf Durchsatz, Komplexität, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit und ermöglicht erweiterte Dünnschichtabscheidungen, Ätz- und Sputteranwendungen. Das AMAT ENDURA-System ist so konzipiert, dass es den höchsten Prozessdurchsatz und die höchste Kontrolle bietet und gleichzeitig die maximale Konfigurierbarkeit und Einheitlichkeit bietet. Es verwendet eine fortschrittliche Gasverteilungseinheit, einen automatisierten Plasmagenerator und eine Kammergeometrie, die eine präzise Prozesssteuerung ermöglicht. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA Maschine verfügt über eine konfigurierbare, mehrzonige Duschkopf/Gasverteiler-Baugruppe, die eine präzise Steuerung von Reaktionsgasen ermöglicht und eine breite Palette von Prozessparametern einstellbar. Die Duschkopfanordnung verwendet ein statisches oder dynamisches Containment-Design, das die Plasmareaktionsgase gleichmäßig auf die Kammerwände und die Substratoberfläche lenkt, was zu einer sehr gleichmäßigen Filmabscheidung, Ätzung und Zerstäubung führt. Seine einzigartige Konfiguration ermöglicht extrem genaue und wiederholbare Ergebnisse sowie eine verbesserte Prozessflexibilität. Darüber hinaus verwendet ENDURA-Tool eine Ionen-Getter/Prallbaugruppe für verbesserte Plasmahomogenität und Gleichmäßigkeit und ein Zyklus-Zeit-Optimierungspaket, das einen schnelleren Durchsatz ermöglicht. Zum Asset gehört auch ein automatisches Prozesssteuerungsprogramm, das es Anwendungstechnikern ermöglicht, die Plasmaprozessparameter in Echtzeit genau zu überwachen und anzupassen. Das Modell AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA verwendet eine Vielzahl verschiedener Prozessgase, einschließlich Sauerstoff, Chlor, Argon und Fluor, was eine breite Palette plasmabasierter Verarbeitungsanwendungen ermöglicht, einschließlich PECVD, RIE und Sputtern. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften und seinem robusten Design ist AMAT ENDURA in der Lage, hochwertige dünne Folien, Ätz- und Sputtermetallfolien auch bei höchster Prozesskomplexität herzustellen. Insgesamt ist APPLIED MATERIALS ENDURA ein leistungsstarker, funktionsreicher Einwafer-Plasmaätzreaktor, der in der Lage ist, qualitativ hochwertige Dünnschichten, Ätzschichten und Sputter-Metall-Folien zu produzieren, selbst bei höchster Prozesskomplexität. Das System bietet überlegene Prozessfähigkeiten in Bezug auf Durchsatz, Komplexität, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit für alle Dünnschichtabscheidungs-, Ätz- und Sputteranwendungen.