Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198514 zu verkaufen

Der ENDURA-Reaktor AMAT/APPLIED MATERIALS ist ein hochmoderner Dünnschichtabscheider, der bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente verwendet wird. AMAT ENDURA ist ein fortschrittliches Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) System, das in der Lage ist, hochkonforme, konforme und spannungsgesteuerte dünne Filme abzuscheiden. Das Gerät verfügt über ein Mehrkammerdesign, das maximale Vielseitigkeit bei Abscheideprozessen bietet. APPLIED MATERIALS ENDURA Maschine verwertet ein Roboteroblatenberührenwerkzeug mit einer, Hochleistungsvakuumschlossoblatenübertragung, die sicheren und zuverlässigen Oblatentransport sichert. Der Waferträger des Objekts profitiert von isolierten Stützstützen für eine ordnungsgemäße Waferzentrierung, eine individuelle Zonenheizungssteuerung und ein automatisiertes Kalibrierverfahren für eine verbesserte Gleichmäßigkeit. Das Modell verfügt außerdem über ein verbessertes Quarzglockendesign mit einer integrierten Abscheidungsquelle, die für eine höhere Abscheidegeschwindigkeit bei geringer Prozessvariabilität konfiguriert ist. Darüber hinaus ermöglicht das Gerät die Verarbeitung mehrerer Wafer in einer einzigen Kammer, die den Durchsatz und die Produktivität steigert. In Bezug auf die Prozessfähigkeit ermöglicht ENDURA die PECVD-Abscheidung hochwertiger Dielektrika zusammen mit spezialisierten Widerständen, Gattern und anderen Materialien, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Das System hat auch die Fähigkeit, konforme Schichten aus metallorganischen und anderen Materialien abzuscheiden. Darüber hinaus verfügt AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA über eine Hochvakuum Digital Sublimation Chamber (DSC), die zur Durchführung von Sicon-Reinigungsprozessen verwendet wird. Das Gerät ist in der Lage, Hochtemperaturglühprozesse (HT) durchzuführen, um die Materialspannung zu erhöhen oder die Rauheit der Linienbreite (LWR) zu verringern, sowie ALD-Reinigungsprozesse zur Entfernung organischer Verunreinigungen auf der Waferoberfläche. AMAT ENDURA Maschine ist für erhöhte Sicherheit mit einem verbesserten Plasma-Einschlusswerkzeug konzipiert, das verhindert, dass zurück verschüttete Plasmapartikel auf die Kammer und ihre Komponenten auftreffen. Schließlich verfügt die Anlage über mehrere Sensoren und Alarme, um die Betreiber über alle Modellprobleme zu informieren, um eine optimale Sicherheit, Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Abschließend ist der Reaktor APPLIED MATERIALS ENDURA eine vielseitige Ausrüstung, die in der Lage ist, Abscheide- und Reinigungsprozesse sicher und zuverlässig durchzuführen. Das System ist sehr vielseitig einsetzbar und ermöglicht die effiziente Abscheidung von dünnen Schichten und anderen Materialien, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet werden. Es verfügt auch über Sensoren und Alarme, um optimale Sicherheit, Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten.