Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198523 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist ein revolutionäres Gerät, das für die Herstellung von Halbleiterbauelementen wie Transistoren, Dioden und anderen Schaltungselementen konzipiert ist. Dieses Gerät bietet eine vollständige in-situ, Niedertemperatur-Sputterabscheidung sowohl von dielektrischen Schichten und Metallleiterbahnen als auch von Metallkontakten, die bei der Herstellung dieser Geräte benötigt werden. Damit ist AMAT ENDURA ein wesentliches Werkzeug für die Halbleiterindustrie. Das System selbst besteht aus einer Lastschloßkammer, einer Prozesskammer und zwei Sputterquellen, die zur In-situ-Sputterabscheidung dienen. Die integrierte Lastschloßkammer ist dafür ausgelegt, Wafer schnell und sicher in die Prozesskammer hinein und aus dieser heraus zu bewegen. Die Prozesskammer dient dann zur Steuerung von Druck, Temperatur, Sauerstoff und anderen Gasen während des Abscheidungsprozesses. Es enthält auch die beiden Sputterquellen zur Abscheidung von Metallleiter- und Metallkontakten, die zur Herstellung von Halbleiterbauelementen benötigt werden. ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA ist in der Lage, submikrondicke dielektrische und Metallschichten entweder mit Standard- oder Sauerstoffrezepten zu verarbeiten. Die Einheit ist auch in der Lage, mehrere Schichten verschiedener Dicken sehr schnell zu erzeugen. Es hat auch die Fähigkeit, über chemische Dampfabscheidung (CVD) abzuscheiden und eine schnelle thermische Verarbeitung anzuwenden, die beide wichtig für die Schaffung fortgeschrittener Halbleiterbauelemente sind. ENDURA enthält auch ein Magnetron, das zur Steuerung von Merkmalen, zur Gleichmäßigkeit der Schichtdicke und zur Schrittabdeckung verwendet wird. Dieses Magnetron kann zur verbesserten Gleichförmigkeitsregelung direkt in der Mitte der Prozesskammer platziert werden. Der integrierte Autoloader und die Vision-Maschine beschleunigen die Produktionszeit, während die fortschrittliche Temperaturregelung und die Plasmaversorgung eine überlegene Kontrolle über den Prozess bieten. Insgesamt ist der AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ein ausgezeichnetes Werkzeug zur Herstellung von Halbleiterbauelementen mit beispielloser Schichtdickensteuerung und Gleichmäßigkeit. Die integrierten Komponenten ermöglichen eine schnelle und effiziente Produktion und mit ihren fortschrittlichen Funktionen kann sie die Halbleiterindustrie auf das nächste Level heben.
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