Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198534 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist ein Hochtemperatur-Plasmaprozessor, der in der Halbleiter- und MEMS-Fertigung verwendet wird. Der AMAT ENDURA Reactor wurde entwickelt, um eine effiziente und kostengünstige Verarbeitung einer Vielzahl von Substraten für die Herstellung fortschrittlicher elektrischer Geräte zu ermöglichen. Er verwendet modernste Substratheiz- und Kühlsysteme sowie Abscheide- und Ätzsysteme, um sowohl hohe Qualität als auch hohe Produktivität zu liefern. ANWENDUNGSMATERIALIEN ENDURA Die Substratverarbeitungskammer des Reaktors wird mit einer Reihe von Systemen, die sowohl die Verarbeitung von isolierenden als auch leitenden Substraten aufnehmen können, temperaturgeregelt. Die Temperatur reicht von Temperaturen bis zu 200 ° C bis zu Temperaturen bis 1000 ° C und ermöglicht so Temper-, Glüh- und Diffusionsverfahren. Die Reaktorkammer ist auch mit einer Innenvakuumdrucknote von bis zu 10-6 Torr hermetisch abgedichtet. Dies ermöglicht den Einsatz einer Vielzahl von Gaschemien und ermöglicht eine robuste Substratverarbeitung ENDURA Reactor verfügt auch über einen Plasmagenerator, der eine breite Palette von Betriebstemperaturen und Druckniveaus liefert. Der Plasmagenerator arbeitet in Verbindung mit einer reaktiven Hochfrequenz-HF-Stromversorgung, um Radikal- und Ionenarten zu erzeugen, die Oxidation, Ätzen und Abscheidung antreiben. Verteilerringantennen gewährleisten eine gleichmäßige Prozessabdeckung über große Substrate. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor verfügt auch über anspruchsvolle Substrat Be- und Entladung Hardware. Diese besteht aus einem automatisierten Handlersystem mit In-situ-Kassettenbeladung, das die Bearbeitung von bis zu drei Substraten gleichzeitig ermöglicht. AMAT ENDURA Reactor ist auch mit einer breiten Palette von automatisierten Cluster-Tools kompatibel, die eine nahtlose Integration mit automatisierten Lastschlössern und Robotern für die Hochgeschwindigkeitsbearbeitung ermöglichen. Der APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor beinhaltet neben seiner Substratverarbeitungsleistung auch ein eigenes In-situ-Messtechnik und Feedback-System zur Beurteilung der Substratentwicklung in Echtzeit. Dies ermöglicht eine Echtzeit-Prozessüberwachung und -Rückmeldung, die entscheidend für konsistente und qualitativ hochwertige Ergebnisse sind. Insgesamt ist ENDURA Reactor ein Top-of-the-Line-System für die fortschrittliche Halbleiter- und MEMS-Herstellung. Seine fortschrittlichen Subsysteme und Funktionen sorgen für hochwertige Ergebnisse, während seine breite Kompatibilität mit automatisierten Cluster-Tools eine effiziente und hohe Durchsatzverarbeitung gewährleistet. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist die perfekte Lösung für die moderne Halbleiter- und MEMS-Fertigung.