Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198535 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein Reaktor (oder „Reaktionskammer“), der für die Verwendung mit einer Vielzahl von Verfahren, einschließlich chemischer Dampfabscheidung (CVD), physikalischer Dampfabscheidung (PVD) und plasmaverbesserter chemischer Dampfabscheidung (PECVD), entwickelt wurde. AMAT ENDURA besteht aus einer Vakuumkammer, einem Satz elektrischer Durchführungen und einem Massenstromregler zur Steuerung der Zufuhr von Gasen und anderen Reaktanden in die Anlage. Das System wurde mit einem Schwerpunkt auf Flexibilität konzipiert und ermöglicht den Einsatz mehrerer Reaktantenquellen und sogar unterschiedlicher Substratgrößen (innerhalb seiner zulässigen Kammergröße). Der Single-Wafer APPLIED MATERIALS ENDURA ist in der Lage, eine Gleichmäßigkeit von ~ 1,5% auf einem 9-Zoll-Substrat zu erzielen und erreicht Partikelzahlen unter 3 Zählern pro Sekunde. Es verfügt über eine runde Kammer mit 70 mm Durchmesser, ein Quarzfenster und ist druckeinstellbar bis 500 mbar. Nach dem Einstellen eines Verfahrens können die Parameter wie Temperatur, Druck und Reaktantenkonzentration in Echtzeit eingestellt und eingestellt werden, um eine hochgenaue Steuerung des Wafer-Abscheidungsprozesses zu ermöglichen. ENDURA kommt auch mit einer breiten Palette von Vakuum- und Temperaturkomponenten. Beispielsweise enthält die Anlage einen Ionisator zur Spülung von Reaktanden sowie eine Gasbehandlungsmaschine zur Abgabe von Gasen und gasförmigen Gemischen. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine mechanische Schrupppumpe mit variabler Drehzahl, eine Turbomolekularpumpe, einen Turbomolekularpumpenregler und einen Zwei-Gang-Schrupppumpenregler. Die Anlage wird auch mit einer Vielzahl von Prozessüberwachungs- und Kontrollsystemen geliefert, die die Gleichmäßigkeit der Filmabscheidung gewährleisten. Diese Systeme umfassen Massenstromregler zur präzisen Regelung der Substrattemperatur, eine Warmkühlplatte zur Probenbeladung, eine geteilte Platte zur Temperaturgleichförmigkeit in die Kammer, ein optisches Pyrometer zur Messung der Substrattemperatur, einen Verriegelungsschalter und Prozessregler. Als Teil seiner Sicherheitsmerkmale ist das Modell mit Überdrucksensoren und einem Notfallknopf ausgestattet, um einen Prozess bei Bedarf schnell zu stoppen. Diese Hightech-Reaktionskammer ist ein vielseitiges Werkzeug, das Fachleute in fortschrittlichen Prozessen wie der Herstellung von nanoskaligen Materialien, chemischer Technik und Quantentechnologien einsetzen. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist mit seinem robusten Design, seiner fortschrittlichen Funktionalität und präzisen Steuerungsfunktionen ein unschätzbares Werkzeug für diejenigen, die ihre Prozesskontrolle auf die nächste Stufe heben möchten.