Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198543 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist ein fortschrittliches Plasmareaktorsystem, das für kritische Schrittprozesse bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Es ist in der Lage, die höchsten Prozesstemperaturen jedes vorhandenen Werkzeugs aufrechtzuerhalten, so dass es ideal für kritische Anwendungen mit niedrigerer Temperatur und 3D-Geräten ist. Der AMAT ENDURA Reaktor besteht aus mehreren verschiedenen Kammern. Der Ladeanschluss ist ein eigener Bereich zum Be-/Entladen von Kammern. Er enthält den Roboter, der für die Übertragung des Wafers von der Lastöffnung in die Reaktionskammer verantwortlich ist, sowie die Wartung anderer Kammern. Die Basisdruckkammer hält das Substrat und die Pumpe während der Prozesse fest und enthält auch Temperaturregelelemente und andere Instrumente. Die Reaktionskammer ist das Herzstück des Reaktors und enthält das Plasmaquellenmaterial und den Regler, der für die Regelung der Prozessparameter zuständig ist. Schließlich enthält die Abgaskammer die Turbopumpen und das Inertgas, mit denen der Druck im System geregelt und die gewünschten Prozessbedingungen eingehalten werden. Was die Prozessparameter anbelangt, so ist APPLIED MATERIALS ENDURA für einen weiten Temperaturbereich konzipiert, einschließlich derjenigen bis zu 25 ° C und bis zu 1400 ° C. Es wurde entwickelt, um eine einheitliche und saubere Grenzflächenumgebung bereitzustellen, die verhindert, dass der Wafer während des gesamten Prozesses einer dielektrischen Abscheidung oder Kontamination ausgesetzt wird. Proaktive Wartung ist auch eine Schlüsselfunktion, mit der Benutzer ihre Rezepte vor jedem Prozess einrichten können, um die Werkzeugleistung zu verbessern und die Wiederholbarkeit auf hohem Niveau zu erhalten. ENDURA-Reaktor kommt auch mit einer breiten Palette von fortschrittlichen Diagnose- und Qualitätsprüfungen, einschließlich Echtzeit-in-situ-Überwachung von Prozessschritten, mehrere Messtechniken, um Ätz- und Abscheidungsergebnisse zu charakterisieren, und Kristall-Tracer-Technologie zur Überwachung der Kristallstruktur und Orientierung. Die automatisierte optische Kohärenztomographie (OCT) ist auch eine Option für AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA, die Benutzern die Möglichkeit gibt, die Gerätestruktur auf Submikron-Ebene durch den Wafer zu überwachen. Der AMAT ENDURA Reaktor ist ein ideales Werkzeug für die fortschrittliche IC-Herstellung und bietet zuverlässige Herstellungsprozesse mit sauberen, einheitlichen Schnittstellen und wiederholbarer Leistung. Sein breiter Temperaturbereich und seine vielseitigen Prozessdienstprogramme machen es ideal für eine Vielzahl kritischer Schritte, wie Ätz-, CVD- und PECVD. Die umfassenden Überwachungsfunktionen dieses Systems, kombiniert mit der proaktiven Wartung und Diagnose, geben Anwendern die Genauigkeit und Genauigkeit, die sie brauchen, um in der sich ständig verändernden Halbleiterindustrie erfolgreich zu sein.