Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198545 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA® Reaktor ist eine fortschrittliche physikalische Bedampfung (PVD) Ausrüstung verwendet, um Substrate mit Dünnschichtmaterialien zu beschichten. Dieses Hochleistungs-PVD-System bietet eine präzise Steuerung der Prozessparameter und eine hervorragende Materialausnutzung, was zu einem hohen Durchsatz und Kosteneinsparungen führt. Das Gerät bietet gleichbleibend hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit. AMAT ENDURA® besteht aus einer wassergekühlten Edelstahlkammer, die ein Substratfutter und eine Gaspaneelanordnung aufnimmt. Die Ausgangsmaterialien werden in abgedichteten Quellbehältern innerhalb der Gasplatte gehalten. Ein Elektronenstrahlverdampfer wird verwendet, um die Quellmaterialien zu verrohren. Der resultierende Materialdampf durchläuft eine Diffusorplatte und wird schließlich auf dem Substrat abgeschieden. Das Gaspaneel umfasst eine Plattenheizung, ein optisches Sichtfenster und vorwärts Edelgaseinlässe. Um Feuchtigkeit und sauerstofffreie Abscheidungsbedingungen zu gewährleisten, wird vor der Abscheidung ein hochreines Edelgas in die Kammer eingeleitet. Die Gase durchlaufen dann einen integrierten Massenstromregler (MFC), um den Gasstrom und die Abscheidungsdicke genau zu steuern. Das Elektrodensubstratfutter ist bodenmontiert und besteht aus einem Satz von drei konzentrischen zylindrischen Elektroden. Sie dienen zur präzisen Regelung der Substrattemperaturen sowie zur Substratheizung und -kühlung. Außerdem ermöglicht das Spannfutter eine Substratdrehung und -bewegung in der Kammerfokusebene. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA® Maschine enthält auch ein Steuermodul zur Überwachung des Abscheideprozesses. Das Steuermodul besteht aus Konsole, Software, Stromversorgung, Verriegelungswerkzeug und Pumpen. Die Anlage wurde entwickelt, um einfache Installation, Wartung und Betrieb zu erleichtern und gleichzeitig ein hervorragendes Maß an Kontrolle zu bieten. ENDURA® Reaktor ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes PVD-Modell. Es bietet präzise Materialausnutzung, hohen Durchsatz und ausgezeichnete Materialgleichförmigkeit. Es ist eine ideale Lösung für viele Dünnschichtabscheidungsanwendungen.