Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9198546 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9198546
Support LG OG precleans Part number: 0021-21260.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein CVD-Reaktor (Chemical Vapor Deposition). Es ist in der Lage, qualitativ hochwertige Niedertemperaturfilme aus einer Vielzahl von Materialien wie Siliziumdioxid, Siliziumnitrid und Wolfram herzustellen. Es kann Materialien über eine breite Palette von Temperaturen abscheiden, so dass es für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter-, LED und erneuerbare Energie-Industrie geeignet ist. AMAT ENDURA Reaktor hat eine zylindrische Form und ist um eine zentrale Anordnung von Bauteilen gebaut. Sie besteht aus einer zwischen horizontalen und vertikalen Positionen schaltbaren Prozesskammer, einer mechanischen Hubanordnung, die eine genaue Positionierung des Suszeptors ermöglicht, einem HF-Generator und einem Anpassungsnetz, einer Prozessgasverteileinrichtung und einer Prozesssteuerung. Die Prozesskammer von APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA CVD Reaktor wird verwendet, um die Umgebung für die Abscheidung von Materialien zu manipulieren. Es verwendet eine kontrollierte Atmosphäre aus Prozessgas, Wärme und Druck, um gewünschte Filme zu synthetisieren. Die Kammerwände bestehen aus einem trocken gepressten, gesinterten Siliciumcarbid, das ein hohes Temperaturvermögen aufweist und erosionsbeständig ist. Die Ecken der Kammer sind mit herausnehmbaren quarzverkleideten Fenstern ausgestattet, um eine optische Analyse in situ zu ermöglichen. Ein HF-Generator und ein Anpassungsnetzwerk dienen der Stromversorgung der Reaktionskammer, die auf die gewünschte Frequenz eingestellt werden kann. Die mechanische Hubvorrichtung sorgt für eine präzise vertikale Bewegung des Suszeptors, der die Basis ist, auf der das Material aufgebracht wird. Es verwendet pneumatisch betätigte Aktoren, die den Suszeptor in die gewünschte Position heben und senken können. Der Suszeptor selbst besteht aus Graphit und wird auf die gewünschte Temperatur erhitzt. Es wird auch verwendet, um elektrische Ladung zu lösen. Die Prozeßgasverteilungseinheit gewährleistet den Prozeßgasstrom mit der richtigen Geschwindigkeit und dem richtigen Druck zur Prozeßkammer. Es besteht aus einem Injektor, Ventilen und einem Verteiler. Der Injektor versorgt das vorgegebene Prozeßgas und die Ventile regeln ihre jeweiligen Durchflüsse. Der Prozessgaskrümmer besteht aus einer Reihe von Platten und Rohren, die den Gasstrom vom Injektor zur Prozesskammer leiten. Die Prozesssteuerungsmaschine des ENDURA CVD-Reaktors ermöglicht es Benutzern, die verschiedenen Parameter im Zusammenhang mit dem Betrieb der Reaktion, wie Prozessgasdurchfluss, Temperatur, Druck und angelegte Spannung einzustellen. Darüber hinaus können Benutzer die Temperatur und den Druck in der Prozesskammer sowie die dem Werkzeug zugeführte elektrische Energie überwachen. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA CVD Reaktor ist ein effizientes und zuverlässiges Werkzeug, das verwendet werden kann, um eine Vielzahl von kohlenstoffbasierten Folien mit genauer Kontrolle über den Abscheidungsprozess zu schaffen. Es ist mit einem Fokus auf Sicherheit und effiziente Verarbeitung entworfen, so dass es die perfekte Wahl für jede sensible Anwendung.
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