Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202554 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein fortschrittlicher chemisch-mechanischer Planarisierungsreaktor (CMP), der speziell für die Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es ist ein wichtiges Werkzeug zum Abdecken, Glätten und Polieren von Waferoberflächen, bevor Geräteteile abgelegt werden. Der Reaktor nutzt einen integrierten konstruktiven Ansatz, um eine Vielzahl von mechanischen und chemischen Prozessen zu einer einzigen Ausrüstung zu kombinieren. Es besteht aus einer zweizonigen, drehbaren CMP-Plattform mit zwei 150mm oder 200mm Platten, die sich unabhängig voneinander in entgegengesetzte Richtungen drehen. Die Plattform ist mit präzisen DC-gesteuerten Motorantrieben, programmierbaren Leistungsreglern und einem In-situ-Güllefördersystem ausgestattet. Darüber hinaus verfügt die Plattform über eine ausgeklügelte Steuereinheit mit leistungsstarker Datenerfassung und Echtzeitfähigkeit. Dies bietet eine erweiterte Stepper-Steuerung und Board-Setup, so dass mehrere Rezepte und Prozessparameter schnell zurückgerufen werden können. Dies ermöglicht eine hohe Produktivität mit bis zu vier unabhängigen Platten und maximal 20 Bypads pro Platte. Der Bediener kann eine Reihenfolge von bis zu 16 CMP-Schritten mit jeweils einstellbaren Parametern wie Slurry-Typ, Pad-Zustand und Druckeinstellungen einrichten. Die mechanischen Eigenschaften des AMAT ENDURA Reaktors umfassen erweiterte Bewegungssteuerungs- und Dämpfungsfunktionen sowie Gummidichtungen und eine weiche Reinigungsmaschine, um sicherzustellen, dass Wafer-Kontaktkräfte genau kontrolliert werden, was zu einheitlichen und wiederholbaren Materialabtragungsraten führt. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA Reaktor bietet auch eine hohe chemische Verträglichkeit, so dass es mit einer großen Reihe von Schlämmen und Chemikalien für verschiedene Prozesse verwendet werden kann. Der chemische Teil des Werkzeugs enthält eine Reihe von Inline-Filtern zur Beseitigung unerwünschter Partikel sowie eine In-Line-Prozessüberwachung, um Prozessanpassungen in Echtzeit zu ermöglichen. Das Güllefördermodell ist schwerkraftgefördert und wird durch eine Kombination aus einem programmierbaren Leistungsregler und einem einstellbaren Geschwindigkeitsantrieb geregelt. Dies ermöglicht die volle Kontrolle über den Schlammfluss und die automatisierte Echtzeit-Prozessüberwachung und -steuerung. ENDURA ist ein flexibler und zuverlässiger CMP-Reaktor, der Anwendern die Möglichkeit bietet, mehrere CMP-Schritte mit höchster Genauigkeit, Effizienz und Wiederholbarkeit zu perfektionieren. Dieses Tool war ein konsistentes Arbeitspferd für die Weiterentwicklung von Halbleitern, so dass IC-Hersteller höhere Erträge und kleinere Geräte produzieren können. Die leistungsstarken Steuerungsfunktionen und Bewegungsfunktionen ermöglichen hohe Präzision und Wiederholbarkeit, und die chemische Verträglichkeit ermöglicht den Einsatz der Geräte in einer Vielzahl von Anwendungen.