Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9202812 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist eine fortschrittliche Ätz-/Ablagerungsplattform, die entwickelt wurde, um überlegene Produktionserträge, minimale Zykluszeit und überlegene Kostenleistung zu bieten. Es ist eine umfassende, integrierte Ätz-/Abscheideausrüstung mit einer breiten Palette von Funktionen, die erweiterte Fähigkeiten und High-Tech-Anwendungen in der Substratherstellung ermöglichen. Dieser Einzelwafer-Abscheide-/Ätzreaktor bietet einen verbesserten Durchsatz, eine höhere Prozessflexibilität und eine höhere Ertragsgleichmäßigkeit als konkurrenzfähige Ätz-/Abscheidungswerkzeuge. Das AMAT ENDURA-System besteht aus einer Zweitankverdampfungskammer, einer Zweisegmentvakuumkammer, einer Ultraniederdruckquelle (ULV), einer erweiterten Wafer-Ladeeinheit und einer Software-Suite zur Prozesssteuerung. Die Zweitankverdampfungskammer beherbergt eine maßgeschneiderte Quellmaterialquelle und die zweisegmentige Vakuumkammer enthält ein leistungsstarkes RIE/Plasmaätzmodul mit einem hohen Wirkungsgrad. Die ULV-Druckquelle liefert extrem niedrige Drücke für eine optimale Leistung von ECR-Plasmaquellen, was eine höhere Ätz-/Abscheidungsfähigkeit ermöglicht. Die fortschrittliche Wafer-Lademaschine bietet reibungslose Be-/Entladung und Sicherheitsfunktionen, um den Wafer zu schützen und konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Angewandte Materialien ENDURA Werkzeug ist entworfen, um eine Vielzahl von Ätz-/Abscheidungsprozessen durchzuführen. Es unterstützt eine breite Palette von Prozessanwendungen, einschließlich High-Aspect Ratio Feature Etch/Deposition, Nanotechnologie-Anwendungen, Trockenätzen und thermischen Behandlungen. Das Asset ermöglicht zudem eine integrierte Prozesssteuerung, die eine gleichzeitige Prozessoptimierung, höhere Erträge und höhere Zuverlässigkeit ermöglicht. Das ENDURA-Modell eignet sich gut für die Hochdurchsatzproduktion fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Es verfügt über eine integrierte Prozesssteuerungsausrüstung mit automatisierter Rezepterzeugung, Rezepterzeugung und Parameterabstimmung, Ultraniederdruck-Betriebsbereich und der Fähigkeit, Plasmageneratoren und Fernsensoren zu integrieren. Es verfügt auch über eine maßgeschneiderte Quellmaterialquelle und einen hocheffizienten Prozessbereich. Das System AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA wurde mit dem Schwerpunkt Prozesswiederholbarkeit, hohe Produktionsausbeuten und verbesserte Prozessflexibilität konzipiert. Die integrierte Prozesssteuerungssoftware bietet eine vollständige Kontrolle der Ätz-/Abscheidungsparameter, was verbesserte Erträge, schnelle Durchlaufzeiten und zuverlässige Leistung ermöglicht. AMAT ENDURA-Einheit kann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, einschließlich MEMS, optoelektronische Geräte und HF-Feldgeräteproduktion. Die fortschrittlichen Funktionen der Maschine ermöglichen die Reduzierung von Zykluszeiten, verbesserte Erträge und Kosteneinsparungen für die fortschrittliche Geräteproduktion.