Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9203800 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9203800
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1999
PVD Chamber, 6" 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein vielseitiger, hochmoderner Einzelwafer- oder Chargenreaktor, der für die Halbleiterherstellung und die damit verbundene Verarbeitung ausgelegt ist. Es ist ein Mehrzweckwerkzeug für epitaktische Wachstums-, Abscheide-, Ätz- und Oxidationsanwendungen. Die Ätz-, Abscheide- und Oxidationsprozesse werden alle in einer integrierten Einheit zusammengefasst, wodurch mehrere Prozesswerkzeuge entfallen. AMAT ENDURA verfügt über ein leistungsstarkes Kaltwanddesign für gleichmäßige Ätz- und Abscheideraten bei großen Prozesslasten sowie eine flexible und einfache Einrichtung. ANWENDUNGSMATERIALIEN ENDURA ist mit fortschrittlichen Fehlerüberwachungssystemen ausgestattet, um mögliche Sicherheits- und Maschinenstörungen zu vermeiden. Es hat ein einzigartiges modernes Design mit einem großflächig beschichteten Duschkopf und einem spiralförmigen Einlassrohr, das eine gleichmäßige Gasmischung und -strömung über das gesamte Werkstück verteilt. Dadurch eignet sich die Vorrichtung für Prozesse wie epitaktisches Wachstum und die Abscheidung von Low-k-Filmen. Mit einem Vier-Kammer-Design, um Flexibilität zu bieten, kann ENDURA eine Vielzahl von Prozessanforderungen erfüllen. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA bietet eine Reihe von verfahrenstechnischen Optionen, wie, Rapid Thermal Process (RTP), Remote-Plasmareinigung, Flammenglühen und schnelles thermisches Glühen. Das Gerät unterstützt auch die hochmoderne schnelle thermische Verarbeitung (RTP) und das Hochtemperaturglühen (HTA). Unterstützt werden auch die schnellen, hochpräzisen dehnungsselektiven Glüh- und Schnellofenglühverfahren. AMAT ENDURA verfügt über eine eingebaute, Top-Down-Kanalkammer, die eine kontinuierliche Waferbearbeitung ermöglicht und eine ausgezeichnete Temperaturgleichmäßigkeit bei hohen Geschwindigkeiten und niedrigem Druck bietet. APPLIED MATERIALS ENDURA ist zudem mit einer Vielzahl von Automatisierungsfunktionen ausgestattet, die es dem Anwender ermöglichen, die Prozessparameter präzise zu steuern. Dies beinhaltet automatische und halbautomatische Modus, zusammen mit voller manueller Steuerung. Die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche und die Datenprotokollierungsfunktionen reduzieren die Zeit für Setup und Datenerfassung und machen dies zu einer großartigen Option für Serien- und High-Tech-Anwendungen. ENDURA ist ein idealer Reaktor zur Prozessverstärkung und für ein extrem sauberes Düsenwachstum. Es ist für maximale Prozesskonsistenz und geringe Partikelverschmutzung konzipiert, was es zu einem ausgezeichneten Werkzeug für die fortschrittliche Halbleiterherstellung macht.
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