Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9222234 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist eine vielseitige, leistungsfähige Plasmaätzanlage, die mit einer Reihe von Eigenschaften und Fähigkeiten geliefert wird. Es wurde entwickelt, um Ätzanwendungen verschiedener Typen zu unterstützen, von ultrafeinen Photomasken bis hin zu Halbleiterwafern. AMAT ENDURA ist in der Lage, Funktionen mit hohem Seitenverhältnis mit geringer Defektivität und nahezu perfekter Ätzgleichmäßigkeit über eine Reihe von Materialien zu erzeugen. Herzstück des Systems APPLIED MATERIALS ENDURA ist die patentierte ExtorQTM Stromversorgungstechnologie: ein kompakter, leistungsstarker und vielseitiger HF-Generator, der eine überragende Leistung und eine beispiellose Steuerung des Plasmaprozesses bietet. Das ExtorQTM-Netzteil ermöglicht den Anwendern die Steuerung von Ionenenergie, Ionendichte und Plasmachemie aus einer Hand, was eine präzise Steuerung der Ätzparameter und eine Minimierung der Prozessvariabilität ermöglicht. ENDURA bietet auch eine Reihe fortschrittlicher Prozessüberwachungs- und Steuerungsfunktionen. Das Steuerungs- und Analysesoftware-Paket des Geräts umfasst automatische Prozessoptimierungstools und Experimentdesign-Fähigkeiten: Werkzeuge zum Einrichten von Wafer-Bearbeitungsbedingungen, die wiederholbar und hoch programmierbar sind. Die Software unterstützt auch den Fernzugriff und die Überwachung und ermöglicht die Remote-Prozessoptimierung. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor bietet auch eine breite Palette von Kammermöglichkeiten, einschließlich PE-CD, PE-BT und PE-OD. Jede Kammerkonfiguration nutzt eine Vielzahl von Magnetkonfigurationen und Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Quellen. Mit der Zugabe von AMAT ENDURA APPLIED MATERIALS ENDURA Total Chamber Control (ETCC) können Anwender einheitliche Strahlmuster erstellen, die einheitliche Prozessergebnisse über verschiedene Kammertypen hinweg ermöglichen. Darüber hinaus bietet ENDURA Reaktor eine Reihe automatisierter Prozessrezepte, die die Wiederholbarkeit der Prozesse gewährleisten und den Durchsatz erhöhen. Darüber hinaus verfügt die AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Prozesskammer über Substratmanagement (SM) und Load Lock Module, die eine effiziente Übertragung und Handhabung von Substraten bei minimalem manuellen Eingriff ermöglichen. Insgesamt ist der AMAT ENDURA Reaktor eine leistungsstarke, funktionsreiche Ätzmaschine, die robuste und zuverlässige Prozesse liefert. Mit seinem ExtorQTM Netzteil, fortschrittlicher Prozessüberwachung, Fernzugänglichkeit und automatisierten Prozessrezepten ist der APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor die ideale Wahl für Anwender, die präzise Ätzergebnisse und eine enge Prozesssteuerung benötigen.