Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9223707 zu verkaufen
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AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist eine fortschrittliche, hochdurchsatzreiche, chemische Dampfabscheidung (CVD) Reaktorkomponentenausrüstung, die zur Optimierung der Produktion von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. AMAT ENDURA bietet Vielseitigkeit und Flexibilität für sich entwickelnde Geräteanforderungen mit verbesserter Prozesssteuerung und -leistung. APPLIED MATERIALS ENDURA basiert auf einem revolutionären CVD-Design, das es zu einem äußerst zuverlässigen System macht, das präzise Prozesskontrolle, verbesserte Herstellbarkeit und außergewöhnliche Leistung bietet. Das Gerät nutzt einen vertikal konfigurierbaren und modularen Aufbau mit einer kürzeren Prozesskammer, die höhere Filmabscheideraten und einen geringeren Platzbedarf als herkömmliche Systeme ermöglicht. Diese Maschine ist auch mit geschlossener Regelung für präzise Prozesssollpunkte gebaut, ist mit einem Gasförderwerkzeug für eine präzise Gasströmungszufuhr erhältlich und umfasst mehrere Kammern für mehrstufige Prozeßformationen. ENDURA besteht aus einem Großrechner, einer Prozessquelle, einer Quellkammer, einer Substratstufe, einer Prozesskammer und einem Auspuff ventral mit jeweils individuellen Merkmalen zur Verbesserung der Prozessleistung und -effizienz. Der Mainframe ist hochautomatisiert und ermöglicht eine einfache Konfiguration mehrerer Geräte. Die Prozessquellenkammer ermöglicht eine präzise Gaszufuhr mit fortschrittlicher Gasflusssteuerung, während die Substratstufe eine präzise Probenplatzierung mit einer unabhängigen Substrattemperaturregelung ermöglicht, um wiederholbare Bedingungen während der gesamten Produktion zu ermöglichen. Die Prozesskammer ist das Zentrum der Anlage und liefert die Bedingungen für die CVD-Reaktion. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist mit einer leistungsfähigen Plasmaquelle ausgestattet und bietet eine einheitliche Temperaturregelung, die eine zuverlässige Filmqualität über die gesamte Kammer und das Substrat auch bei hohen Abscheideraten gewährleistet. Die Kammer kommt auch mit einer erweiterten HRU (Wärmerückgewinnungseinheit), die Wärme von der Quelle zur Substratstufe und Prozesskammer erzeugt, um den Stromverbrauch zu reduzieren und die Prozessdurchsatzraten weiter zu optimieren. Schließlich hilft der Auspuff ventral, das während der CVD-Verarbeitung erzeugte reaktive Gas und Rauch zu verwalten. AMAT ENDURA bietet eine überlegene Prozesssteuerung und ist darauf ausgelegt, die Produktionserträge zu erhöhen, Ausfallzeiten zu minimieren und die Rentabilität zu maximieren. Der modulare Aufbau und der effiziente Betrieb machen es zu einem kompetenten Werkzeug, um die Produktionskosten zu senken und gleichzeitig Leistung und Zuverlässigkeit zu verbessern. Das Modell mit hohem Durchsatz und kontrollierter CVD-Umgebung machen es zu einer idealen Lösung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen schnell und kostengünstig.
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