Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9227874 zu verkaufen
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ID: 9227874
Wafergröße: 8"
System, 8"
Includes:
(4) Chambers
Wide body: Narrow body
VHP Robot: HP Robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist eine fortschrittliche, leistungsstarke Abscheideausrüstung, die einen hohen Durchsatz und eine enge Gleichmäßigkeitskontrolle für eine breite Palette von Materialien bietet und somit eine ideale Plattform für nahezu jede Abscheidungsanwendung darstellt. Entwickelt mit proprietärer Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Technologie, AMAT ENDURA Plattform ist in der Lage, eine Reihe von Substraten abzuscheiden, einschließlich Metalle, Dielektrika, Leiter und Halbleiter. Das Design von APPLIED MATERIALS ENDURA ermöglicht Ablagerungs-, Industrialisierungs- und Anpassungsprozesse. ENDURA verfügt über drei einzigartig gestaltete Prozesskammern, die die gleichzeitige Bearbeitung von drei separaten Substraten ermöglichen. Dazu kommen vier MFP-3D Roboter und zwei separat steuerbare Keramik-Metall-Dichtungen, die eine effiziente Automatisierung der Systemkapazitäten ermöglichen. Darüber hinaus verfügt AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA über eine umfassende Palette von Prozesssteuerungsfunktionen, wie hochgenaue Temperatur-, Druck- und Flusssteuerung, sowie eine breite Palette von Substratkonfigurationen und HF-Optionen. Die reinepitaktischen Abscheidungsprozesse von AMAT ENDURA sind robust und sehr langlebig und ermöglichen die Abscheidung komplizierter silizidierter Strukturen mit sehr hoher Schrittabdeckung. Das Gerät zeichnet sich durch eine hervorragende Foliengleichförmigkeit aus, die in allen drei Prozesskammern eine Gleichmäßigkeit von bis zu ± 0,5% aufbringt. Das macht APPLIED MATERIALS ENDURA außergewöhnlich zuverlässig und leiht sich zur erfolgreichen Herstellung einer Vielfalt von Hochleistungshalbleitergerätstrukturen. Weitere Merkmale von ENDURA sind sein breites Prozessspektrum und seine außergewöhnliche Wiederholbarkeit. Die Produktpalette von AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist die branchenweit größte und ermöglicht die Beschichtung und Charakterisierung einer Vielzahl von Materialien mit einer einzigen Maschine. Die Prozeßwiederholbarkeit ist derweil einwandfrei präzise, mit einer Wiederholbarkeit von ± 0,5%. Dies sorgt für Genauigkeit und Konsistenz bei wiederholbaren Abscheideläufen über Zeiträume. Ein einzigartiges Merkmal des AMAT ENDURA Reaktors ist seine Fähigkeit, die Produktion im industriellen Maßstab mit Anpassungs- und Automatisierungsmöglichkeiten zu unterstützen. Dies zeigt sich in der Fähigkeit von APPLIED MATERIALS ENDURA, hochvolumige Substrate mit fortschrittlichen Wafer-Tracking-Funktionen in Verbindung mit seinen automatisierten Substrat-Be- und Entladeoptionen effektiv zu verarbeiten. Darüber hinaus kann ENDURA mit anderen Systemen, wie z.B. der Inline-Messtechnik, zur weiteren Anpassung des Werkzeugs integriert werden. Abschließend ist AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ein fortschrittliches, leistungsstarkes Deposition-Asset, das beeindruckende Fähigkeiten und Präzision bietet. Mit einem breiten Prozessspektrum, automatisiertem Betrieb und flexiblen Anpassungsmöglichkeiten ist AMAT ENDURA ein unschätzbares Gut für jede Halbleiterherstellungsanlage oder jedes Forschungs- und Entwicklungslabor, das ihre Prozesse mit fortschrittlichen Abscheidungslösungen digitalisieren möchte.
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