Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9235921 zu verkaufen
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ID: 9235921
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
PVD System, 8"
Product wafer
Wafer shape: SNNF
Controller & system AC
Single Bd computer in controller: V452
EMO Function: Turn to release
Emergency off label
EMO Button guard rings
Shunt trip option
Smoke detector
Facility water flow interlock
Robot & monolith:
Buffer robot: HP
Transfer robot: VHP
Transfer robot blade: Original metal
Buffer robot blade: Original metal
Monolith bakeout heater DBI intk
UHV Pump:
Cryo pump: ONBOARD 8F
System monitor:
Monitor 1: Stand alone
Monitor 1: Cable length, 50'
No monitor select switch
Loadlock and cassette:
Loadlock type: Narrow body
Type: Index / Handler
Loadlock vents: Variable speed soft vent
LL Open / Close switch
Generator rack:
2nd Generator rack installed
2nd Generator rack smoke detector
2nd Generator rack water leak detector
Cable length, 1st to 2nd generator rack, 6'
2nd Generator rack water flow intk
Support equipment:
Neslabs
Neslab water resistivity indicator: Resistivity meter
Neslab drain port valve
No BOC heat exchanger on system
Cryo compressors: Water cooled
(2) Cryo compressors
Cryo lines: 3/4" x 50'
Cryopump controller type: 3 Phase controller
Cryopump water fittings
Signal cable length:
Mainframe to system controller, 50'
Mainframe to generator rack, 50'
Mainframe to cryo compressor, 50'
Main AC to system controller / System AC, 50'
System controller / System AC to prim gen rack, 50'
Main AC to prim gen rack, 50'
Main AC to pump frame, 50'
Main AC to neslab heat exchanger, 50'
Miscellaneous:
Water fittings: SST
Ar / N2 Vent manifold
Air fittings, 3/8"
Swagelok water & air fittings
System roughing pumps
EBARA Pump IF smart
Communications interface: GEM / SECE II
Cooldown chamber rough pump options:
EBARA Pump IF smart
System electrical:
Top control AC power feed
Circuit breaker: 343.8 A
Line frequency: 60 Hz
Small main AC power inlet hole
Line voltage: 208 V
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein hochpräziser Reaktor zur Herstellung von Halbleiterteilen. Es ist für eine überlegene Prozessgleichmäßigkeit und einen außergewöhnlichen Anlagendurchsatz konzipiert und ermöglicht die Herstellung feinster Qualitätskomponenten für eine Vielzahl von Anwendungen. AMAT ENDURA ist eine Dreikammer-PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) -Ausrüstung, die qualitativ hochwertige, gleichmäßige Schichten aus Dielektrika, Polymeren und anderen dünnen Filmen herstellen kann. Durch die Verwendung hochentwickelter und vielseitiger Konzentrationen von Reaktanden ist APPLIED MATERIALS ENDURA in der Lage, eine überlegene Abscheidungsleistung über eine Vielzahl von Prozessparametern zu erzielen. Dieses System ermöglicht eine breite Palette von Reaktoren etabliert und gewartet werden, so dass die Produktion von anspruchsvollen Halbleiterbauelementen mit überlegener Gleichmäßigkeit über eine breite Palette von Produktlinien. ENDURA bietet auch mehrere erweiterte Funktionen wie eine digitale Edge-Server-Einheit und eine benutzerdefinierte Substrat-Rotation-Funktion. Diese Funktionen bieten dem Anwender mehr Flexibilität bei der Verwaltung von Prozessparametern, was schnellere Produktionsraten und eine verbesserte Zuverlässigkeit ermöglicht. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA beinhaltet auch eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, die es einfach macht, die Maschine zu steuern und zu konfigurieren. AMAT ENDURA ist ein hocheffizienter Reaktor, der extrem präzise Temperatur- und Druckprofile aufrecht erhalten kann. Dadurch wird sichergestellt, dass Materialien optimal gehalten werden, um die Gleichmäßigkeit der Folienschichten zu maximieren. APPLIED MATERIALS ENDURA bietet auch ein optimales elektrisches Erdungswerkzeug, das eine bessere elektrische Verbindung zum Teil und hervorragende Fertigungsergebnisse gewährleistet. Um eine überlegene Gleichmäßigkeit der Materialschicht zu gewährleisten, ist die Software für ENDURA für eine präzise Kontrolle der Substratbewegung und anderer kritischer Parameter des Abscheidungsprozesses ausgelegt. Die Konfiguration der Anlage ermöglicht es dem Benutzer auch, bestimmte Prozesse zu umgehen, um die Produktion zu optimieren, und die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht eine schnelle und einfache Navigation des Modells. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist eine leistungsstarke, fortschrittliche und präzise PECVD-Ausrüstung. Es produziert gleichmäßig hochwertige Produkte mit überlegenem Anlagendurchsatz und ist damit ein ideales Werkzeug für die Halbleiterherstellung. Das System umfasst eine breite Palette von Funktionen und Funktionen, die es zu einer guten Wahl für die Schaffung von elektrooptischen Bauelementen, Schaltern, Empfängern und anderen Halbleiterbauelementen machen, die eine überlegene Gleichmäßigkeit und Genauigkeit erfordern.
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