Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9247381 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor ist ein fortschrittliches reaktives Ionenätzgerät (RIE) auf der Basis einer magnetisch verbesserten Plasmaquelle. Es ist ein Mehrkammerwerkzeug, das ein plasmaunterstütztes Abscheidungsverfahren verwendet, um Muster von Substraten und dielektrischen Schichten zu ätzen (oder zu entfernen). Das System kann für eine Vielzahl von Prozessanwendungen wie IC-Herstellung, Kontaktätzen, Photoresist-Strippen und Kontaktlochbildung eingesetzt werden. AMAT ENDURA bietet Anwendern eine innovative Lösung zur präzisen Steuerung des Ätzprozesses. Seine Kerntechnologie ist die magnetisch verbesserte Plasmaquelle (MEP). Diese proprietäre Technologie ermöglicht einen wiederholbaren und effizienteren Ätzprozess mit höheren Ausbeuten und einheitlichen Merkmalsgrößen auf komplexen Substraten. Die magnetisierte Plasmaquelle hilft HF-elektrisches Rauschen zu reduzieren und ermöglicht ein breiteres Prozessfenster. ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA Maschine ist entworfen, um eine präzise Steuerung der Ätzprozesse zu bieten. Seine Mehrkammerkonfiguration sorgt für Gleichmäßigkeit und Reinigung der Waferoberflächen. Die dualen Verarbeitungskammern ermöglichen es, den Ätzprozess vollständig von Verschmutzungen zu isolieren und den Einsatz verschiedener Gase zum effizienten Ätzen verschiedener Materialien zu ermöglichen. Das Tool verfügt über mehrere erweiterte Fähigkeiten, darunter einen großen Druckbereich (von mTorr bis High Torr) zum Ätzen anspruchsvoller Dielektrika, eine hochauflösende Quarzmaske, die eine präzise Funktionssteuerung ermöglicht, und einen Hochdurchsatz-Ätzprozess. Es verfügt auch über fortschrittliche Überwachungs- und Prozesssteuerungssysteme, um Benutzern eine Echtzeitsteuerung des Ätzprozesses zu ermöglichen. ENDURA Asset kann in einer Vielzahl von Branchen wie Halbleiter, Luft- und Raumfahrt, Medizin und Automobil eingesetzt werden. Es wurde entwickelt, um präzisere und effizientere Ätzprozesse mit verringertem Risiko von Substratschäden, Verschmutzungen und Ertragsverlusten zu ermöglichen. Der Einsatz des Modells kann zudem die Betriebskosten senken und einen höheren Durchsatz ermöglichen. Abschließend ist AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reaktor eine hochentwickelte und effiziente RIE-Ausrüstung, die auf magnetisch verbesserter Plasmatechnologie basiert. Es bietet Anwendern eine präzise Steuerung von Ätzprozessen auf komplexen Substraten, um das Risiko von Kontaminationen, Substratschäden und Ertragsverlusten zu reduzieren. Darüber hinaus bietet das System eine hohe Durchsatzleistung, senkt die Betriebskosten und steigert die Rentabilität.