Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9266216 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ID: 9266216
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2000
System, 8"
(4) Chambers
(2) Chambers: Ti / TiN
(2) Chambers: Hot-AL
(2) Chambers: Orientor-degas
Missing parts:
Chambers (3) magnet
Massflow
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor ist ein etabliertes physikalisches Bedampfungswerkzeug (PVD), das in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Es wurde entwickelt, um eine fortschrittliche, leistungsstarke Abscheidung über eine Vielzahl von Prozessbedingungen bereitzustellen. AMAT ENDURA Reactor verwendet ein Ein- oder Zweikammer-Vakuumsystem mit reaktiven Gasen und Vorstufen, um das gewünschte Material abzuscheiden. Es verfügt über eine Reihe einzigartiger Fähigkeiten, die eine große Kontrolle über die exakte Qualität der Materialabscheidung ermöglichen, wie automatische Druckregelung, hochauflösende Druckregelung, gepulste Reaktantenströmung für verbesserte Oberflächenrauhigkeit und erweiterte Reaktionskontrolle zur Optimierung der Schichtkinetik. Darüber hinaus können mehrere Plasmaquellentechnologien integriert werden, wie Mikrowelle, E-Strahl und Gleichstrom (DC), was niedrigere Temperaturprozesse und eine bessere Steuerung ermöglicht. APPLIKATIONSMATERIALIEN ENDURA Reaktor ist in der Lage, Materialwachstum mit hohem Durchsatz und gleichmäßigem oder maßgeschneidertem Schicht-für-Schicht-Wachstum über große Flächen zu erreichen. Es verfügt über einen großen flexiblen Arbeitsbereich, mit der Fähigkeit, Substrate von mehreren Zoll bis zu Dutzend Zoll in der Größe zu verarbeiten. Zur Gewährleistung der Zuverlässigkeit umfasst ENDURA Reactor ein aktives Verschmutzungsentfernungssystem und eine automatische Abschaltreihenfolge bei Prozessstörungen. Für zusätzlichen Komfort kann eine automatisierte Robotertür zum einfachen Be- und Entladen von Substraten enthalten sein. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) ermöglicht eine einfache und konsistente prozessrezeptgesteuerte Bedienung sowie parallele Mehrfachdurchläufe zur Beschleunigung der Bearbeitungszeiten. Darüber hinaus trägt der modulare Aufbau dazu bei, Upgrades zu erleichtern und sicherzustellen, dass der AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Reactor immer auf dem neuesten Stand ist, wenn sich Technologie und Anwendungen ändern. AMAT ENDURA Reactor bietet fortschrittliche, leistungsstarke Abscheidefunktionen mit großer Kontrolle über Materialwachstumsqualität und -durchsatz. Es verfügt über vielseitige Prozesse, zuverlässigen Betrieb und einen modularen Aufbau für einfache Upgrades, so dass es eine ideale Wahl für Halbleiteranwendungen ist.
Es liegen noch keine Bewertungen vor