Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9296941 zu verkaufen

AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein physikalischer PVD-Reaktor, der entwickelt wurde, um Abscheidungs- und Plasmaätzfähigkeiten in einer einzigen Ausrüstung bereitzustellen. AMAT ENDURA wurde entwickelt, um Filme höchster Qualität und beste Leistung in einer Umgebung mit hohem Durchsatz zu bieten. Die Kammer ist aus bis zu fünf separaten Komponenten aufgebaut: Substrathalter, Hochfrequenzquelle, Spannfutter, Lastschloßkammer und Sekundärquelle. Der Substrathalter ermöglicht es dem System, mehrere Teile des Substrats von jeder Größe bis zu 300mm zu handhaben. Die Hochfrequenzquelle dient zur Erzeugung von Hochleistungsplasma, das zum Aufbrechen von Verbindungen in den Prozessgasen verwendet wird. Das Spannfutter dient dazu, das Substrat während des Prozesses zu halten, während die Lastschloßkammer zur Verminderung von Verschmutzungen ausgelegt ist, indem die Substrate ohne Einwirkung von Atmosphäre be- und entladen werden können. Schließlich wird die sekundäre Quelle verwendet, um Getter und anderes verbindungshaltiges Gas einzuführen. Die Multi-Zone- Control™-Technologie von APPLIED MATERIALS ENDURA bietet mehrere Abscheide- und Ätzzonen innerhalb derselben Kammer. Diese Technologie ermöglicht es dem Bediener, seine Prozessanforderungen perfekt an das Gerät anzupassen und die höchstmögliche Produktleistung zu erzielen. Mehrere Filmabscheidungsquellen, einschließlich Sputter- und Plasmaquellen, können auf einem einzigen Substrat verwendet werden, was sowohl einen hohen Plattenwiderstand als auch hochleitfähige Schichten ermöglicht. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, durch eine breite Palette von Materialien einschließlich Metalle, Dielektrika und Photoresist zu ätzen. ENDURA ist auch mit einer Vielzahl von automatisierten Funktionen ausgestattet, die die Wiederholbarkeit und Genauigkeit der Prozesse gewährleisten. Automatisierte Parameter wie Prozesszeit, Temperatur und Druckeinstellungen können programmiert und gespeichert werden, um sicherzustellen, dass die Ergebnisse unabhängig vom Bediener konsistent bleiben. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, einschließlich Druckregler und Lastschlösser, die das Risiko beim Betrieb des Assets reduzieren. Insgesamt ist AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ein leistungsstarker physikalischer Bedampfungsreaktor, der eine hohe Leistung und zuverlässige Leistung in einer Hochdurchsatzumgebung bietet. Mit der Multi-Zone Control™ Technology und den automatisierten Funktionen können Anwender hochwertige Filme und Radierungen mit beispielloser Prozesswiederholbarkeit erstellen.