Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312918 zu verkaufen

AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA
ID: 9312918
Wafergröße: 12"
PVD Systems, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein hochentwickelter Ätz- und Abscheidungsreaktor, der üblicherweise bei der Herstellung von Halbleitermaterialien verwendet wird. Seine Fähigkeit, extrem präzise nanotechnologische Komponenten herzustellen, ist unübertroffen und macht es zu einem leistungsfähigen und zuverlässigen Werkzeug in der Halbleiterindustrie. AMAT ENDURA ist ein Einzel-Wafer-Reaktorkammersystem, das für Ätz- und Abscheidungsprozesse verwendet wird. Die Form der Kammer ist so, dass sie eine Gleichmäßigkeit im Plasma und im optischen Fluss gewährleistet. Der Innenraum besteht aus zwei gegenüberliegenden Elektroden, die jeweils von einer 13,56 MHz RF-Quelle angetrieben werden. Die Plasmaquelle von APPLIED MATERIALS ENDURA ist optimiert, um eine präzise Platzierung von Ionen zu gewährleisten, was zu einer engen Prozesskontrolle führt. Dies hilft auch, elektrische Felder zu minimieren und Drift zu reduzieren. Die Konstruktion des Reaktors führt zu überlegener Ätzgleichmäßigkeit und präziseren Oberflächeneigenschaften. Die Abscheideprozesse können auf einen spezifischen spezifischen spezifischen Widerstand, eine Folienzusammensetzung und ein Dotierstoffprofil abgestimmt werden. Um die Umgebung in der Kammer konsistent zu halten, verwendet ENDURA eine Reihe von Schilden und Schilden, um das Substrat vom Plasma zu trennen, um mögliche Schäden zu reduzieren. Dies hilft auch, elektrische Felder und Drift zu minimieren. Zum weiteren Schutz des Substrats ist der Reaktor mit automatisierten Spülpumpen ausgestattet, die den Druck innerhalb der Kammer steuern und auf einem sicheren Betriebsniveau halten. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA hat eine Reihe von wertvollen Eigenschaften, um den Durchsatz zu verbessern, einschließlich einer Mehrtaschen-Pyrolyt-Liner und hochreine Gasleitungen. Darüber hinaus kann das System mit der Automatisierung verbunden werden, um die Verwaltung der Prozesse zu erleichtern, wie z. B. die Ausführung von Operationen im Batch-Modus und die Verwaltung von Wafer-Stacks, wie Sie es wünschen. AMAT ENDURA ist ein bewährtes und kostengünstiges Werkzeug, das in vielen Operationen eingesetzt wird, um signifikante Prozessverbesserungen, Vielseitigkeit und überlegene Erträge zu erzielen. Seine zuverlässige Leistung macht es zu einer idealen Lösung für Prozesse, bei denen kleine Merkmale, Erträge und Kosten wichtig sind.
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