Gebraucht AMAT / APPLIED MATERIALS ENDURA #9312919 zu verkaufen
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ID: 9312919
Wafergröße: 6"
PVD System, 6"
Load lock: Narrow body (Automated)
Buffer robot: HP
XFER Robot: HP
Chamber A: PC
Chamber B: Cool
Chamber E: Heat
Chamber F: Orienter-Degas
Chamber 2: AL
Body: Standard
Magnet: Assy 11.3" SRC STD 1
Pedestal: Clamp
DC Power: MDX-L12
CTI-CRYOGENICS On-Board Cryo pump, 3-Phase
Chamber 3: Hot AL
Body: Standard
Magnet: Assy 11.3" SRC STD 1
Pedestal: 101
DC Power: CMDX-L12
CTI-CRYOGENICS On-Board Cryo pump
Chamber 3: Ti
Body: Wide body with shutter
Magnet: Assy 11.3" SRC WB 18
Pedestal: Clamp
DC Power: MDX-L12M and MDX-L12
CTI-CRYOGENICS On-Board Cryo pump
AC Rack
Controller
DC Power rack
CTI-CRYOGENICS 8500 Cryo compressor
CTI-CRYOGENICS 9600 Cryo compressor
Missing parts:
Loadlock cassette indexer assy
Video PCB
Hard Disk Drive (HDD)
5-Phase driver
(3) DC Power supplies
RF Power supply for PC chamber
NESLAB Chiller.
AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA ist ein fortschrittlicher Abscheidungsreaktor, der ultradünne Filme mit präzisen Schichten bei schnellen Geschwindigkeiten und präzisen Dicken herstellt. AMAT ENDURA, das für Epitaxie, Abscheidung, reaktives Ätzen und Advanced steht, ist ein System, das aus drei Komponenten besteht: ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA TE, Zell- und Kammersysteme. ENDURA Chamber ist eine hochmoderne, hochpräzise Thermo-/Vakuumverarbeitungskammer, die hochwertige Wafersubstrate mit hoher Präzision herstellt. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA TE umfasst eine integrierte fortschrittliche Gaseinheit, ein Hochvakuumpumpenmodul, eine Echtzeit-Endpunktsteuerung, einen HF-Generatorblock und eine HF-Liefermaschine. AMAT ENDURA Cell besteht aus dem gesamten Spektrum von Prozess- und Abscheidekomponenten und Controllern, die zum Abscheiden und Ätzen von Schichten aus Abscheidungsmaterial auf den Wafersubstraten verwendet werden. ANWENDUNGSMATERIALIEN ENDURA Cell umfasst erweiterte Gasverteilungskomponenten wie die Low Mass Flow Ion Source, Hochleistungs-HF-Quelle, Anode, Kathode und Reaktionsgasleitung sowie eine Puls-LED, Pulslaser und Hochspannungs-Vorspannungselektrode. Das fortschrittliche Gaswerkzeug hilft, den Abscheidungsprozess zu überwachen und zu steuern, während der HF-Generator und die Hochspannungs-Vorspannungselektrode die elektrische Vorspannung des Substrats steuern. Die gesamte ENDURA-Anlage wurde entwickelt, um eine gleichmäßige Abscheidungsschicht mit einer präzisen, hochpräzisen Dicke über die gesamte Waferoberfläche mit einer hochpräzisen (+/- 1A) Wiederholbarkeit und hoher Durchsatzprozessrate zu erzeugen. Das gesamte Modell, einschließlich AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Cell, ist benutzerfreundlich und selbstdiagnostisch konzipiert, um sicherzustellen, dass der Anwender auch bei längerem Betrieb mit zuverlässiger, hochtreuer Leistung versorgt wird. AMAT ENDURA Cell mit integrierter Gasausrüstung, HF-Quelle und variabler Vorspannung kann mehrere Filme parallel verarbeiten, was höhere Durchsatzprozesse und geringere Betriebskosten ermöglicht. ANGEWANDTE MATERIALIEN ENDURA TE ist hocheffizient, mit einer verbrauchsarmen Stromversorgung und einem geringen Platzbedarf, so dass es ideal für kleine Labore. ENDURA-System ist die perfekte Wahl für jede Branche, die hochpräzise, zuverlässige Abscheideprozesse erfordert. Es ist hocheffizient und verfügt über hochmoderne, branchenführende Thermo-/Vakuum-Verarbeitungsfunktionen, Gassysteme und HF-Quellen und bietet hervorragende Wiederholbarkeit, schnelle Raten und präzise Dicke. Die integrierten Gassysteme und die variable Vorspannung ermöglichen die vollständige Kontrolle des Abscheideprozesses, während die verbrauchsarme Stromversorgung und der geringe Platzbedarf es ideal für jedes Labor jeder Größe machen. Für zuverlässige, hochtreue Leistung, nichts schlägt AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA Einheit.
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